微系统与微电子技术的相互联系（微电子技术的概念）

微系统当然包括微电子系统,但考虑到微电子技术已非常成熟,通常所说的微系统是指微电子以后的微系统。它们在使用上有如下区别:

(1)运用自然规律的广度　微电子主要运用电、磁规律,而微系统则扩大至运用机(包括固体和流体)、光、热、声、化学、生物等一切可能的规律。

　　(2)处理对象　微电子主要处理信息,而微系统还要处理能量和物质(如化学药剂)。

　　(3)与环境的关系　微电子基本上与环境是隔绝的,而主要处理内部信息,但微系统则强调与环境的交流。