ASML的崛起之路(1984-1986):向可以交付的PAS 2500进发

ASML的崛起之路(1984-1986):向可以交付的PAS 2500进发

首页休闲益智最后的交货更新时间:2024-05-11

商业计划

ASML的第一个商业计划是一份纲领文件。贾特·斯密特竭尽全力筹集资金:善意的谎言,夸张的数字和不切实际的目标。但他自己有一个清晰的愿景。

根据对芯片市场的选择性预测,加上理查德·乔治、约普·范凯塞尔、吉尔·詹森和首席财务官杰拉德·韦尔登肖特提供的信息,贾特·斯密特在1984年夏天提出了一个雄心勃勃的商业计划。芯片行业正在蓬勃发展,对设备的需求量远远超过了供应量。ASML的团队援引分析师的话说,在可预见的将来,形势仍将如此乐观。分析师的报告充满了鼓舞人心的数据。

ASML的管理团队从里克·鲁德尔、Dataquest和行业期刊Electronics的报告中获得了各种数据。这些报告中的预测都有些不同,但斯密特将其总结为良好的态势,并预测未来将出现直线增长:1988年全球步进光刻机的销售量将为1,200~1,800台,总价值将为8.4亿~12.6亿美元。

计划中的论据和数据被有倾向地用来解释市场状况,这是个善意的谎言。斯密特和他的团队需要资金,很多资金。因此,他们于1984年8月6日发送给ASML*和管理团队的商业计划是一份高度形式化的文件。其主旨为:随着时间的推移,公司会赚大钱。计划中所描绘的蓝图必须吸引*尽可能多地投资。

对于任何了解ASML真实情况和对半导体市场有所了解的人来说,这份商业计划是非常荒谬的。例如,斯密特在文件中说,公司将在1986年1月1日仅用18个月就为下一代芯片设计交付一台新机器——可首次用于VLSI芯片生产测试的机器。斯密特甚至写道,他计划一次开发并制造10~15台光刻机。但是在那时,这种精密机器的生产准备时间不出意外都至少需要18个月。

乔治一直告诉管理团队,斯密特的远大计划是完全不现实的。斯密特声称,ASML将在1986年出售60~70台光刻机,因此公司将实现它的目标——在那一年盈利。“这意味着我们必须大规模生产,并在两年内发售机器,”乔治告诉斯密特,“这绝不可能。”

但ASML的首席执行官有一个更高的目标。他必须表明,整个项目不是一个亏钱的生意,速度是至关重要的。ASML正在与另外9位竞争者比拼谁先研发出下一代机器。时间期限只有短短的两年。为了实施他的战略,斯密特需要1亿美元。

他非常清楚,这个数额是他的*们完全不能接受的,所以他改成了5,000万美元。这也是斯密特有意在商业计划中将研发人员人数的估计值设定在较低水平的原因。实际上,他根本不在乎数字,而只想全速推进项目。他将在几个月内聘请100多名开发人员,1985年ASML将继续招聘工程师。

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这家只有4个月历史的公司的远大计划是什么?

其商业计划显示,到1988年年底,该公司应跻身全球三大步进光刻机供应商之列;

1986年,公司应该扭亏为盈;3年后的1989年,它计划还清所有债务。

斯密特写道,ASML内部拥有所有的关键技术,成功将机器推向市场只是组织工作的问题。他无数次强调,如果成功,回报将是巨大的。“我们会成功雇用所需的人力资源,并成立一家人均收入为50万美元的高科技公司,这个计划没有可行的替代方案。”他用坚决的语气结束了报告。

ASML于1984年8月提交的商业计划

在ASML于1984年8月提交的商业计划中,贾特·斯密特尽可能地将员工数量的估计值设定得较低,以使他的投资计划能顺利通过。负责PAS 2500系统开发工作的理查德·乔治从另一个角度解读这个计划。他在商业计划书副本的空白处写道:“这严重低估了!”

乔治的判断是正确的。1987年年末,参与研发和生产的工程师的数量将是斯密特在1984年设定的估计值的近4倍:不是62人,而是218人。其余员工(行政、销售和营销)的数量将增长到162人,是斯密特最初估计的8倍。

斯密特的商业计划在各方面都十分乐观。他仍然打算出售几十台油压驱动的PAS 2000。事实上,他知道这是不太可能的。各方消息都认为,芯片制造商对这种滴着油的机器不感兴趣。不仅如此,机油系统的发电机比光刻机本身都大,并且产生了很多噪声,需要定制外壳来减少噪声。但显然,ASML仍希望将其库存硬卖给那些想要尝试其高级对准系统的公司。

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事实上,ASML在飞利浦工业园区的TQ大楼中的员工仍然忙于油压驱动型步进光刻机的研发工作。合资企业在刚成立时,在母公司ASM的坚持下买入了大量零件。

1984年8月,ASML仍然仍然没有放弃油压装置,乐观地认为会有客户愿意尝试PAS 2000。1985年,他的目标是卖出20台。他的目标设定基于这样的假设:芯片制造设备仍然是卖方市场,芯片制造商会购买他们能买到的任何东西。

这个商业计划在某种程度上仍沿用了飞利浦的思维模式:这台机器的对准系统非常先进,在这个急需生产设备的技术驱动型市场中,芯片制造商将乐意尝试用PAS 2000进行生产测试。他们将购买它们并期待着“1986年年初更有竞争力的PAS 2500”,而PAS 2500在带有电动晶圆台的同时取消了油压驱动系统。

光刻已经发展成为一种战略技术。芯片制造商知道他们在相当长的一段时间内与光刻机供应商的关系是密不可分的,这使得稳定性和耐用性变得非常重要。他们的选择也是非常看重技术的,他们希望芯片设备制造商已经具备与大公司合作的实践经验。

ASML几乎无法满足这些要求。有盈利的ASM和庞大的飞利浦的支持,公司只能证明其在财务上相对稳定。此外,它目前拥有一张技术王牌:能够实现精准套刻的对准技术。但由于这项技术被应用于油压驱动的机器中,这使得整台机器实际上都是无法出售的。

斯密特转而为解决方案开展繁忙的营销活动。1984年年底,他想在行业报刊上宣传ASML无与伦比的对准技术。然后在1985年上半年,他想在商业媒体上进行第二轮营销活动,强调ASML对客户的长期承诺。他还想在服务和售后支持上大力投资。

围绕半导体市场的炒作对斯密特有利。但几个月后,灾祸来临,经济衰退将使芯片行业在未来3年内都处于低谷。但是在1984年8月,还没有任何灾难即将来临的迹象。

ASML的商业计划大胆预测光刻机的市场在未来4年内都将呈直线增长。

这并不是说没有麻烦,斯密特和他的管理团队确实看到了一些即将到来的难题。他们写道,光刻机供应商在1984年和1985年将继续享受卖方市场,但之后的竞争将加剧,从而产生定价压力并最终导致价格下滑。他们预测,ASML的9个竞争对手最终只会剩下5个。

这一判断也完全取决于大量的资金投入。斯密特强调,半途而废是浪费精力;如果他们这样做,ASML肯定会在几年内*。如果市场保持线性增长,ASML最好的情况是在1988年销售400台光刻机;如果情况不那么乐观,他们仍然能卖出250台。这将使ASML占据25%的市场份额。这家荷兰公司计划在美国销售大部分光刻产品,在日本和欧洲销售其余产品。当时,日本已经拥有45%的芯片市场,和美国一样。

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尽管存在各种公司政治、夸大的数字和极不现实的目标,ASML的第一个商业计划是富有远见的。斯密特描述了定价和产品差异化的战略选项,并得出结论:他的公司需要专注于降低生产芯片的成本。

换句话说,就是只要能低成本地产出芯片,设备就可以卖得很贵。即使在他的第一个商业计划中,斯密特也认为降低拥有成本是维持公司长期发展的最佳方式,而不应像其他设备供应商和竞争对手那样只是寻求倾销旧库存。

简单地说,晶圆光刻机无异于“印钞机”。只要它够快,机器的成本就无关紧要了。能够交付比竞争对手“印钞”速度更快的机器,就可以收取更多的费用,而价格在销售过程中起着次要作用。斯密特认为:“这就是我们确保高投资能得到高回报的方式。”

正如斯密特所写的那样,从投影扫描光刻机到步进光刻机的行业转型,突显了拥有成本战略的价值。步进光刻机比投影扫描光刻机贵得多,而且由于曝光过程较慢其启动效率要低得多。但是,步进光刻机的极高精度可制造质量更好的芯片,并使投射更小的电路图成为可能。因此,同样的芯片只占用更小的晶圆,从而大大降低了生产成本。

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拥有成本将成为ASML销售和营销战略的核心。在20世纪90年代,ASML未来的首席执行官威廉·马里斯(Willem Maris)将其称为“所有权的价值”。

从技术上讲,电动晶圆台将是ASML实现步进光刻机高吞吐量的基石。但是在斯密特提出他的商业计划的时候,Natlab的该项技术还没有发展成熟,尚不能进入应用阶段。

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ASML的商业计划中收集的知识提供了一个相当不错的机会来考察光刻机领域。它表明GCA已经面临压力,并正确地预测了这家美国光刻机供应商将失去市场份额,即使他们不是很清楚原因。根据ASML的商业计划,市场领导者拥有高销售额和完善的服务,但实际上到1984年夏天,GCA的服务已经非常糟糕了。该计划还正确地指出,尽管有改进的方法,但GCA的步进光刻机不是很先进。

当时,佳能和Perkin-Elmer都是迅速增长的厂商。两家公司主要供应光刻机,他们的市场份额分别为1%和5%。然而,分析师预测,未来4年,他们的市场份额将分别增长到15%和23%。对Perkin-Elmer的预测主要基于公司的声誉,多年来,它一直主导着光刻机市场。

分析师预测,Perkin-Elmer在美国和欧洲的强大的专业销售组织将刺激公司通过收购Censor来获得步进光刻机业务的大幅增长。ASML的商业计划简要地描述其美国竞争对手“可能成为市场领导者”。对佳能的主要预测与未来几年的实际发展大致相同,但Perkin-Elmer实际上在几年后退出了市场,因为Censor的步进光刻机技术性能不佳。

总之,这份商业计划是一次关于积极思考的了不起的实践。斯密特写道:“没有一个供应商拥有绝对的优势地位,只有GCA和尼康有限地例外。”“有限”一词表明,斯密特还没有意识到尼康有多强大。他的预测是基于该公司第一代声誉不佳的产品:尼康的早期机型主要是基于GCA的机器研发的,这些机器需要操作员不断调整设置来维持运行。欧洲显然与美国厂商一样对尼康的新机器的先进一无所知。这也是斯密特认为他有2年时间提高销量的原因之一。

由于他访问了奈梅亨的Elcoma和汉堡的瓦尔沃,斯密特非常了解芯片制造商对战略光刻技术的看法,以及在这个市场站稳脚跟是多么困难。他的SEMICON West展会之行只是让他更确信这一观点。GCA是最早进入市场的,自1978年以来,它占据了相当大的市场份额。而尼康近年来成为了后起之秀。但所有这些都没有阻止斯密特志存高远。

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商业计划也反映了20世纪80年代初人们对芯片技术发展的殷切期望。显然,Perkin-Elmer公司销售的1︰1投影扫描光刻机的黄金时期已经过去。由于晶圆越来越大,这些机器的性能也濒临极限。商业计划认为,投影扫描光刻机的市场规模将在1983年和1984年达到顶峰,这一说法在随后几年成为现实。

与当时的预测完全一致,商业计划预测光学技术将在10年内达到极限。几乎每个人都同意,可用光源的波长是芯片成像的限制因素。正如投影扫描光刻机一样,重复曝光光刻机的寿命也有限。

事实上,ASML的三大目标之一是在20世纪80年代末成为公认的光刻设备量产供应商。该计划清楚地表明,在制造芯片的光学方法方面,该行业目前仍有很多不确定性。这就是发展电子束光学和X射线光刻技术成为其第二要务的原因:可以用来争取前三名的市场地位,但需要先扭亏为盈并偿还所有债务。

当时业界对电子束直写技术抱有很大期望,但使用X射线进行1︰1成像也是备受关注的话题。例如,在20世纪80年代,尼康仍在全力研发能产生芯片制造所需的平行X射线的同步加速器。里克·鲁德尔在1985年关于光刻机市场的报告中写道:“如果您的公司没有积极的X射线开发计划,请马上制订一个。”

ASML的商业计划遵循这一逻辑。斯密特写道:“有迹象表明,人们对晶圆加工设备的电子束直写技术越来越感兴趣,这使得这些技术对20世纪80年代后期的持续发展至关重要。”人们对X射线成像存在疑问,但斯密特注意到尼康正在进行相关研究,并表明Perkin-Elmer也在研究这项技术。

简而言之,ASML的商业计划表明,在1984年,人们对光学光刻技术是否具有这种持久力完全不清楚。该计划预测,光学光刻技术将在1990年达到顶峰,电子束直写和X射线成像等新技术将在1994年超过它;到2000年,光学光刻技术将走到尽头。

商业计划也很好地概述了当时的先进技术。1984年,最先进的芯片工艺生产细节为1~1.5微米,使用的步进光刻机的叠加精度为0.35微米。1988年,芯片工艺生产细节为0.8微米,叠加精度为0.2微米。在这4年中,成像光场的边长从14毫米增加到18毫米。新兴的MOS技术尤其需要更大的曝光场。主要的芯片制造商很快将在8英寸的晶圆上制造芯片。

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ASML的第一个商业计划尽可能详述了它的战略。合资公司的目标是在4年内生产300多台机器,该公司计划在埃因霍温以南几英里远的维尔德霍芬的新工厂组装它们。自己制造一切是不可能的,因此尽可能外包是公司的关键战略之一。不仅仅是单个部件,公司还计划外包完整的子组件的生产。商业计划委婉地指出,ASML正争取与飞利浦在附近的阿赫特自治市的机器工厂做出“特殊安排”。然而,事实上,对于斯密特和他的生产主管范凯塞尔来说,这已不再可行,飞利浦的部分子公司不能按时交货早已是人尽皆知的事实。

斯密特并不期望这家荷兰制造商能够满足光刻误差极其微小的要求,并建议他们在德国西南部的巴登-符腾堡州寻找供应商,该州有许多高科技公司,包括光学专业设备制造商蔡司。但令他大吃一惊的是,范凯塞尔很快宣布,他在附近已经找到了合适的供应商。大型机器制造商对像小型公司ASML这样的有风险的客户不屑一顾,但两位小型专业公司G.van der Leegte和Nedinsco愿意合作。

在那时,大多数机器工厂都做大量的粗拉和铣削工作,但ASML的要求更高。G.van der Leegte一直都从事工具制造工作,以极高的精度制造一次性或小型实验性产品。该公司拥有电极丝熔蚀和芯片沉积等专业技术,可制造精细的机械部件,如铸币机和注塑模具。因此G.van der Leegte的加工费更高,但它正是ASML正在寻找的那种公司。

像G.van der Leegte这样的小公司靠飞利浦看不上的生意为生。飞利浦这种大公司自己生产所有部件,但其在阿赫特的机器工厂却因不可靠而臭名昭著。该工厂从未按时交货,因此飞利浦的业务部门经常求助于外部供应商。ASML的要求对G.van der Leegte来说是一个颇大的挑战,但该公司渴望掌握这种精密技术,其所有者杰拉德·范德利格特(Gerard van der Leegte)也准备为此而努力。

在20世纪80年代后期,像这样的小供应商能接到像ASML这种规模的订单就足以维持运营。随着飞利浦的进一步衰落,这些供应商的兴衰开始与ASML密切相关。因此,ASML著名的外包生态系统的种子是在那些年种下的。

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斯密特和他的管理团队希望加快发展速度。根据市场估计,研发部门需要在1986年1月1日前交付PAS 2500的原型;6个月后,该机器必须能够进行批量生产。ASML计划在两年后生产新一代步进光刻机;1988年1月,研发部门能够将0.7微米的细节成像到18毫米见方的光场。

这种研发的投资将是巨大的。为了缩短开发时间,ASML打算雇用更多员工,外包也是发展的必然。比如,Natlab和CFT是专注于设计电动晶圆台和改进对准系统的内部供应商。

与此同时,斯密特正在与NMB银行和经济事务部谈判,以确保融资、信贷以及商业计划在掌控之中。

像硅谷一样的总部

1984年夏天,飞利浦工业园区内匆忙建造起了简易房,来容纳ASML的管理团队及其财务、营销和人力资源部门。在ASML迁至维尔德霍芬之前,该公司就在那里开发光刻机。

他们很着急,由于1985年8月要开始量产,之前没有具体考虑过大楼的事,而且这栋大楼需要具有不同化学级别的超净实验室和装配区域,以及用于机器测试和集成的密闭空间;同时,其要求必须隔绝振动,所以该建筑需要一个特殊的地基。

斯密特的设想是一座散发着高科技气息的雄伟建筑,这样在埃因霍温地区的每个人都会注意到ASML的存在。他想要一个地标建筑,一在视觉上有冲击力、夺人眼球的大楼。在潮湿的荷兰,斯密特想要建造一个像硅谷一样的总部。

TQ大楼附近的几间狭小的简易房

ASML的首席执行官还有一些个人愿望。他的家人后来搬到了大约30英里外的一个小镇上,他告诉范凯塞尔,他希望能够从火车站骑自行车去上班。ASML的生产主管提议了维尔德霍芬市,斯密特则喜欢贝斯特市飞利浦医疗公司附近的空地。

过了一阵子,建筑师罗伯特·范阿肯(Robert van Aken)为他设计了一座引人注目的建筑。范凯塞尔将图纸发送到维尔德霍温和贝斯特的市政厅,询问这两个地方是否欢迎ASML引人注目的新工厂入驻。在4年内工厂将雇用300多人,其中2/3拥有大学学位。在一个饱受失业困扰的国家,这是一个非常有吸引力的计划。贝斯特的市长当晚就给范凯塞尔打了电话,并邀请斯密特来他家吃晚饭。

3英里外,维尔德霍芬的市长和市议会也讨论了这件事。ASML把目光投向了高速公路旁的一片土地,名为赫特阿克凯因德。ASML的诉求与一年前该市向省议会提出的要求相吻合。维尔德霍芬希望将赫特阿克凯因德从乡村划为城市。该市有娱乐设施,但重新分区后也将允许无污染工业使用。

位于维尔德霍芬的赫特阿克凯因德

位于维尔德霍芬的赫特阿克凯因德,之后在这里建造了ASML的第一座工厂。这张珍贵的历史照片是由赫尔曼·范希克的妻子安妮-玛丽·范希克-沃尔贝达(Anne-Marie van Heek-Volbeda)拍摄的,她在20世纪70年代参与制造了飞利浦的SiRe1。

维尔德霍芬的*反应迅速。议员约翰·史蒂文斯(Johan Stevens)与斯密特会面,并立即致电邀请当地媒体参加第二天他在市政厅召开的发布会。在会上他宣布了令人兴奋的消息:他正在与ASML谈判,ASML将在3年内在维尔德霍芬创造300个就业机会。

1985年8月22日,该地区主要报纸的头版头条标题是“维尔德霍芬可能赢得ASM和飞利浦的合资工厂的投标”,并以“1988年新增300个就业岗位”为副标题。在就业率创新低之际,该报终于可以报道一些好消息:“该建筑群将包括35,000平方英尺的工厂和25,000平方英尺的办公空间。”

议员史蒂文斯将这事处理得很好。他利用报纸采访,将维尔德霍芬未来的居民描绘成全球参与者,并称ASML将驾驭芯片行业爆炸式增长的浪潮。该报援引史蒂文斯的话说:1988年,美国和日本的芯片制造商将花费10亿美元购买步进光刻机,其中大多数将产自ASML。

议员巧妙地概述了维尔德霍芬的优势。这片土地非常符合ASML提出的要求:赫特阿克凯因德靠近高速公路出口,这对公司的国际业务很重要;这个位置非常显眼,将很好地展示公司。这篇文章详细地对比了史蒂文斯的小镇与同规模的相邻城镇。记者指出:“众所周知,维尔德霍芬的工业用地比埃因霍温要便宜得多。”

史蒂文斯在非正式场合也很高明。他带斯密特前往省会登博什,在那里ASML的首席执行官可以向荷兰前首相、现任女王专员的德里斯·范阿格特(Dries van Agt)讲述他的激情故事。不久之后,该省批准了该项目。“ASML可能搬到维尔德霍芬的赫特阿克凯因德,”地区报纸报道,“有着英俊的艺术家形象的建筑师罗伯特·范阿肯被委托建造这座建筑。”“ASML不该在普通的工业园区,”该文章写道,“但维尔德霍芬的赫特阿克凯因德的南部区域显然满足了这家公司的所有需求。”

因此,ASML选择了维尔德霍芬。

回到Elcoma

乔治·德·克鲁伊夫带着贾特·斯密特去拜访Elcoma。他们遇到了基斯·克里格斯曼和威廉·马里斯,Elcoma承诺购买ASML的机器,只要它能按时交货。

贾特·斯密特雄心勃勃的计划很快在飞利浦的老朋友圈里传开了。飞利浦的荷兰分部主管费迪南德·劳文霍夫(Ferdinand Rauwendoff)听说这件事后,热情地对S&I的技术董事、ASML董事会成员乔治·德·克鲁伊夫说:“我们飞利浦终于又有了一个敢于创造不同的人!”

德·克鲁伊夫也对这家年轻公司的雄心壮志感到兴奋,但他正面临一个重大问题。虽然他是ASML监事会的主席,但他依赖飞利浦的董事会将合资企业的资本翻倍。斯密特要求一笔巨额投资。ASM和飞利浦已经增加了300万美元的支出,但这仍然不够。

德·克鲁伊夫知道Elcoma是关键,如果他能让该工厂的管理层对ASML的光刻机感兴趣,那将给飞利浦的高管们发出一个积极的信号。因此,在斯密特向监事会提出他的商业计划后不久,德·克鲁伊夫建议他们一起拜访负责Elcoma芯片厂的基斯·克里格斯曼。

斯密特并不期望得到多少。几个月前,他和维姆·特罗斯特一起拜访了Elcoma,他们的会面并不愉快,当时咖啡的涩味至今仍在口中挥之不去。但他知道他必须赢得飞利浦的芯片厂的信任,不仅仅是为了资金。

ASML如果不供应其大*,那么也就失去了在其他芯片制造商中的声誉。此外,这个客户只是一路之隔,如果卖给它第一台机器,就能非常方便地进行试运转和操作故障排除。

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5年后将成为ASML首席执行官的威廉·马里斯正和基斯·克里格斯曼共同运营当时飞利浦最雄心勃勃的项目之一——Megachip项目

这个项目与西门子合作开发,西门子在芯片技术方面落后于日本竞争对手,正奋力追赶。飞利浦和西门子希望开发非常先进的内存芯片生产技术,这种芯片可以存储100万比特的数据,因此被称为Megachip。

这个有野心的联盟将进行一次巨大的尝试,预算投入也相当高。虽然飞利浦那时正在削减各方面的成本,但克里格斯曼却有一张几乎空白、可以随便填的支票:他获准投入高达7亿美元。在Natlab,Megachip项目正在全面展开。飞利浦的研究人员可以在那里获得最先进的设备,以使欧洲重新征服全球芯片市场。Natlab甚至为该项目开发了几款光刻机,作为ASML光刻机的备用方案。

时间很紧,这对于项目的设备供应商来说一样。1986年4月1日,飞利浦希望收到用于生产Megachip存储器的设备,它将在3个月后决定购买哪种设备。克里格斯曼告诉德·克鲁伊夫和斯密特:“然后我们将决定哪些设备适用于大规模生产。”

斯密特公布了他的计划:ASML可以在1986年4月1日按时交付,因为ASML内部设定的期限是1986年1月1日。到现在为止,他已经多次推销自己公司的产品,并做出了积极的承诺。克里格斯曼对此印象深刻。

Elcoma的主管坦率地提出他的要求:他想在1986年4月1日收到第一台PAS 2500,不能晚一天。“否则,我就会选择尼康。”他警告说。

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如果ASML满足要求,并且这些机器通过了Elcoma的测试,那么克里格斯曼将为Megachip项目购买PAS 2500。斯密特对此感到很吃惊。他知道克里格斯曼没有受到飞利浦文化太多的影响,他是从霍尼韦尔来到这个项目的,但他仍然对克里格斯曼的建设性态度感到惊讶。不过这些要求并不低,ASML只剩下18个月的时间来开发并生产一台机器。

斯密特与克里格斯曼和马里斯的会晤是ASML发展史中的一个里程碑。

虽然Elcoma在奈梅亨的芯片厂的经理们建议他们的上司不要与ASML做生意,但这两位Megachip项目的负责人都表达了对斯密特的支持。

克里格斯曼不仅支持斯密特,还给了他一个极高的报价。他邀请这位ASML的首席执行官参加每月一次的会议,这是他和马里斯讨论Megachip项目的进展情况的专门会议,会议参与者还包括来自Natlab的基斯·布尔特西斯、马里诺·卡拉索以及Megachip项目测试工厂的罗尔·克莱默(Roel Kramer)。

克里格斯曼说:“这将有助于您了解我们对光刻机的要求。”

斯密特现在正受到飞利浦对其分拆公司业务特殊的深度支持,而他之后在ASML工作期间,还会多次获得这样的支持。当合资企业在飞利浦堡垒的厚墙之外遭遇危机时,母公司的经理们通常会提供帮助。ASML早些时候已经获得了Natlab对电动晶圆台的技术支持;现在,Elcoma也发出了一个积极信号,虽然它是有条件的。

维多利亚韦斯特旅馆

1984年9月初,在一个沉闷的星期二早晨,维姆·亨德里克森走进维多利亚韦斯特路边的一家旅馆,它坐落在埃因霍温中央车站对面的街道上。他将和其他20名ASML的新员工一起参加为期一周的入职课程。

就像亨德里克森一样,其他大多数人才在ASML工作了几天。他们中的许多人直接来自飞利浦,贾特·斯密特在开场白中巧妙地利用了这一事实。“我花了7年的时间为S&I工作,然后我尖叫着跑掉了,”他说,“公司的条条框框太多了,光刻机项目在那里必定失败。”

但斯密特话锋一转:虽然飞利浦无法交付光刻机,但业界开始对ASML的光刻技术非常期待。“ASML最终将交付这个产品。”他说。

然后,斯密特讲述了另一位*——ASM的成功故事。ASM对芯片市场了如指掌,这家母公司已取得成功而且增长迅速,并扭亏为盈。ASM成立16年间业绩良好,除了在荷兰设立了两个办事处外,该公司还在美国凤凰城、中国香港和日本东京设有办事处。

ASML的首席执行官告诉他的听众,公司将走向黄金时代。他说:“我们还有很长的路要走,因为PAS光刻机的竞争力还不够强。尽管如此,ASML还是可以抓住芯片牛市。PAS光刻机就像一辆梅赛德斯奔驰车,拥有今天的技术和往日的构造。它内部结构结实,吞吐量和精度都很好,只是周边部分还不太好。幸运的是,ASML拥有改进它所需的一切条件。我们像初创公司一样小而灵活,但拥有非常成熟且关键的技术。”

斯密特向他的听众讲述了光刻机市场的特点。他告诉他们,这些都是非常精密的机器。不会出现新的竞争者,因为门槛太高了。斯密特说:“我们在美国的竞争对手Perkin-Elmer和日本的竞争对手尼康尚未确立自己的领先地位。我们的目标是在1988年占领1/4的市场。到那时,我们9个竞争对手中的5个将被淘汰。”

然后,他告诉了听众们公司的目标。“我们在1988年将从销售20台光刻机增加到销售300台,收入为1.56亿美元。我们的目标远大,但是可以实现。为了追求速度,ASML将尽可能多和外界合作。公司只会在内部开发最关键的专业技术,而这正是新工程师们的专长,他们将打造机器的核心部件。我们每位员工将获得50万美元的收入。”斯密特告诉他们。

ASML的主要市场在美国,斯密特希望尽快在美国开设分部。维尔德霍芬的园区也必须采用美国管理模式。斯密特说:“欧洲在技术上处于领先地位,但从商业上讲,非常糟糕。这意味着我们需要尽可能经常访问美国。只会思考和纯搞研究的人对我们来说没有任何用处;我们想要付出实际行动的人。我们希望公司有像硅谷的公司一样的心态。”

接下来,几位老手开始解释步进光刻机的各种技术,其中一位是马丁·范登布林克。他在ASML仅工作了6个月,但他讲起对准系统时如数家珍,就像他一直是专门研究这个的。

1984年秋季,招聘活动带来了大量的新员工。他们当中有许多是从腐朽的飞利浦跳槽过来的。他们发现,在这家新公司,反对他们的前雇主已成为一门艺术。

那年秋天,年轻的工程师马丁·范登布林克和弗里茨·范霍特见证了一个惊人的转变。新鲜血液的涌入在短短几个月内就使公司的氛围焕然一新。当许多前飞利浦员工开始对未来感到兴奋的,老工厂里的抱怨声消失了。一些人使用豁免规则返回了母公司飞利浦,斯密特并没有阻止他们。午餐室里的嘟囔抱怨声也消失了,工程师们一边吃三明治,一边说说笑笑。

维多利亚酒店

1984年11月中旬,ASML的经理们和高级工程师们坐上了一辆向北行驶的公共汽车。他们一共20人,未来两天将在德霍格维鲁韦国家公园旁边的维多利亚酒店做团队建设和培训。他们正在准备一场激烈的技术竞赛,所以开发速度必须加快:新机器必须在创纪录的短时间内制造完成。

目标很明确。Elcoma希望在1986年4月1日收到PAS 2500,几个月后ASML希望在SEMICON West展会上展出该机器。这意味着他们只有一年的时间来设计和制造一个全新的系统,这样才能保证晶圆厂能够在1986年开始制造芯片。

贾特·斯密特给他们的最后期限是1986年1月1日。在致PAS 2500项目团队的一封信中,他说,在这一天交货是“绝对不可更改的要求”。

下午2点左右,团队建设开始。飞利浦的两名培训师首先介绍了一门标准课程:讨论如何更快地将创意转化为实际成果、更快地制造机器。在飞利浦,该过程通常需要9~12年,但公司已经想出了一种方法,可将时间缩短到大约7年。ASML的人叹了口气,他们好像必须得想出更多方法才行。

晚上10点左右,斯密特来到现场。他一小时前抵达史基浦机场,此前他去了美国,再次与顾客交谈。顾客告诉他,ASML想在PAS 2500中使用的技术过于超前,而最不合适的地方就是光源:ASML的工程团队希望使用i线汞灯,但芯片行业还没有使用此种波长的光源。

然而斯密特很清楚,芯片制造商希望安全地使用它。目前,整个行业都在继续使用汞蒸气灯发射的g线波长。当天晚上,这位首席执行官召集他的管理团队,斯密特毫不含糊地告诉他们,如果ASML继续研发i线,那么它可能会成为技术领跑者,但他们的机器将无人会购买。整个行业已经建立了基于g线的基础设施并制造了g线相关的可用材料。

斯密特还宣布了另一件事情。在美国之行中,他证实了ASML确实不能将PAS 2000作为测试机器出售。油压驱动是客户的禁忌。此外经济衰退的最初迹象已经显露,芯片制造商越来越谨慎。

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斯密特的结论是:他们需要一台不通过油压驱动的机器,最好是在明年就生产出来。客户再次指出ASML缺乏客户群,因此斯密特希望客户能够尽快开始试用机器。等待PAS 2500不是一个好的选项。

为了使机器可以尽快出售,他希望能够在1985年的SEMICON West展会上展示一台g线步进光刻机。理查德·乔治、尼科·赫尔曼斯和约普·范凯塞尔都在挠头:我们究竟要怎么做才能实现这个目标?斯密特在要求所有的人挑战不可能:他在6个多月后就想要一台完整的机器。

第二天早餐时,团队的其他成员也听到了消息:斯密特想取消原有计划并制订新计划。

斯密特概述了情况。他把目光投向了美国,但他应该如何说服一位美国晶圆厂的经理从荷兰的一家小公司购买一台机器呢?

“我们没有客户群,没有服务部门,没有应用实验室,也没有经验。借助PAS 2000让客户产生购买PAS 2500的兴趣的计划注定失败。”等待PAS 2500问世的风险太大了。Elcoma承诺在1986年购买PAS 2500,但在这一年内ASML无法赢得任何美国客户。他们需要尽早得到美国人的认可。因此,他们必须向客户展示公司的持久力和能够兑现承诺的实力。他的人需要做到这一点,而且需要在ASML推出PAS 2500之前就做到。

斯密特不断强调他的观点:他们能够而且必须提前制造出一台机器。“否则,我们就会*,就这么简单,”他说,“这是毫无疑问的。我们现在先从计划中剔除PAS 2000,然后思考接下来我们该怎么办。”

在荷兰德霍格维鲁韦的维多利亚酒店参与外出静思会期间绘制的草图

这次会议标志着ASML第一次明确决定将放弃制造油压驱动的PAS 2000。图片中列出了许多事项,其中包括停止订购该机器所需零件的决定。

* * *

斯密特拒绝更改最后期限。他想明年春天在SEMICON West展会上展示一台g线步进光刻机。在不影响PAS 2500的开发的情况下,ASML必须在1985年推出第一台机器后继续开发VLSI 1代芯片制造设备。

紧张的情绪给大家带来了动力。小组被分在不同的房间以研究具体细节。每隔90分钟,各组就重新回到主房间进行综合讨论。那天,无数的纸上满是想法和草图。

随着时间的流逝,每个人都清楚地认识到,他们无法更快地制造出PAS 2500。开发和生产一台新机器根本不可能在9个月的时间内完成,即使几组人员并行工作也不行。

但该小组确实想出了一个解决方案,他们可以在规定的时间内开发Natlab的电动机台,然后将电动机台放到旧的PAS 2000中来替换液压机台。因为仍有几台旧机器在仓库里,所以计划执行起来没问题。

如果他们能够让直线电动机在PAS 2000中工作,那么无论如何,他们都有了样机可以用来进行演示。唯一的缺点是CERCO现有的g线光学装置只能曝光10毫米×10毫米的光场,而业界已经要求能曝光14毫米×14毫米的光场。

* * *

当工程师们离开维多利亚酒店时,成堆的纸的高度齐腰。但ASML现在有了一个计划,以及一个明确的目标。在接下来的几个月里,他们将制造一台过渡机器来打入美国市场,他们已经将这台光刻机命名为PAS 2400

埃弗特·波拉克(Evert Polak),一位前航空工程师,从S&I转到ASML来领导PAS 2400的研发团队,而理查德·乔治的团队将继续研究PAS 2500。

斯密特在开发光刻机时,做了一些飞利浦从未做过的事——他聆听客户的意见,客户的愿望就是他的命令。斯密特并不依赖他的工程师从技术会议中带回的东西,也不依赖从科学文献中找出的东西。他问顾客需要什么,再把分析后的结论作为硬性要求交给他的工程师。从本质上讲,斯密特完成了第一次产品营销,并且随着PAS 2400和PAS 2500的新计划的制订,ASML的第一张产品路线图诞生了。

ASML第一张产品路线图

这是将PAS 2000的机台更换为电动机台并在1985年的SEMICON West展会上展出的路线图。

* * *

斯密特的选择也使公司的光学研发变得更为关键。ASML花了几个月的时间说服蔡司定制i线镜头,但无济于事。现在,他们突然选择了另一条路线:斯密特决定使用蔡司的标准g线镜头中的一种。ASML必须调整对准系统,以便将该镜头应用于PAS 2500。

当时,斯密特不知道GCA使用的镜头在芯片行业内评价极低。交付的压力太大,以至于这家美国的步进光刻机厂商没有花时间对蔡司交付的数百个镜头进行质量检查。GCA的工程师也没有意识到蔡司交付的镜头柱存在一个严重的问题——漂移。起初一切都很好,但机器运行一段时间后,成像质量就会下降,这造成了严重的影响。芯片制造商的停机时间因此而延长。

因为不知道问题出现的原因,所以GCA没有通知蔡司。1984年,马丁·范登布林克在与蔡司的第一次会面中,建议其对从奥伯科亨出厂的镜头进行全面测试,但德国人不听。他们认为出厂前的质量检验是浪费时间,因为他们已经向GCA交付了数百个g线镜头,但没有一个镜头被退回。

镜头问题将成为蔡司遭受的最大的灾难之一。这将是导致GCA失败的主要因素,也将严重损害蔡司的声誉。蔡司的光学元件无法与尼康,尤其是与佳能当时使用的高品质镜头相媲美。ASML也将受到蔡司形象受损的影响,但在1984年,这家荷兰公司还不知道情况的严重性。

在接下来的几年里,GCA将不得不用卡车来装客户替换下来的g线镜头。在那时,ASML还没有售卖光刻机,但它坚持要求蔡司进行出厂镜头的质量检验。

当蔡司调查时,他们发现了问题:蔡司使用柔性密封剂将玻璃透镜黏附到金属支架上;这么做要考虑到两种材料不同的热膨胀系数,但密封剂对水分和温度敏感,从而产生漂移。问题如此严重,蔡司半导体镜头负责人汉斯·莱切(Hans Letsche)和他的助手伯恩哈德·凯末尔(Bernard Kammerer)别无选择,只能与ASML合作来解决这个问题。

因此,在20世纪90年代中期,CFT的克里斯·维尔泽尔(Chris Velzel)和里恩·科斯特想出了用铰链固定和玻璃与金属胶接的解决方案。后来他们发现,若使用极薄的胶水层,玻璃透镜在收缩和膨胀时其相对于金属支架的位置不会发生改变。

蔡司此前曾拒绝与ASML进行任何形式的合作,这次被迫合作是一个突破。这样的合作还有很多次,最终将使ASML和蔡司之间的关系越来越紧密。

美国市场

1984年秋天,贾特·斯密特要求硅谷的一家营销公司安排主要芯片制造商的专家进行圆桌讨论。在这次焦点小组会议上,专家们讨论光刻机成功的因素。参与者知道他们的谈话会被录下来,但不知道ASML是幕后的需求方。营销公司对专家提的问题是:对光刻机供应商有何期望,顺便说一下他们对新成立的ASML有何感想?

他们直言不讳地表明,绝对没有人对ASML感兴趣,芯片行业只存在于美国和日本。美国人把荷兰工程师描绘成旧世界的居民,而这些人以规避风险和保守的态度而闻名。

斯密特给他的团队放映了这个视频,这虽然让他们很受伤但带来了积极的影响。他们意识到要消除美国人的偏见,还有很多工作要做,卓越的机器性能是基本要求。美国人说,他们主要寻找具有持久力、财务实力和愿意投资当地售后服务的光刻机公司,而这些公司还应为未来制定明确的路线图。

在1984年8月的商业计划中,斯密特主要关注美国人和日本人。他写道:“为了在客户中建立信誉,等资金足够后我们需要尽快在美国和日本建厂生产。”ASML已经在凤凰城租了一栋大楼作为应用实验室。1986年,斯密特想要在硅谷和东京建立演示实验室。

看到视频后,斯密特更改了策略。他意识到追赶日本是没有意义的,美国已经非常具有挑战性了。虽然ASML的机会有限,但他把一切都押在美国身上。ASML可能会先忽略英特尔、摩托罗拉和德州仪器等主要公司,因为它们与日本竞争对手日立、NEC和东芝处于竞争状态。美国人在半导体领域的声誉下跌,他们只沉迷于一件事——击败亚洲竞争对手。为此,他们必须与正处于巅峰的日本人在质量、可靠性和服务等方面进行较量。美国巨头们正在从佳能和尼康购买他们的光刻机,以便像他们的对手一样建立自己的工厂。

对更高质量的需求标志着GCA的衰亡开始了。这家在1978年推出第一款商用光刻机的公司现在无法与日本公司相媲美,而且正在迅速失去市场。

这意味着ASML面对的门槛极其高。PAS 2500有成功的机会,但只有最高的专业精神才能说服美国客户。斯密特意识到他在英特尔、摩托罗拉和德州仪器等公司完全没有机会,唯一的选择是说服像AMD、赛普拉斯和MMI这样的第二梯队的公司。

AMD的主要竞争对手是英特尔,而不是日本公司,这意味着该公司可能对ASML的机器有兴趣,这将有助于它击败其在圣克拉拉的竞争对手。赛普拉斯也是如此。这两家公司都在寻找办法,以超过更强大的美国竞争对手。斯密特表示ASML的光刻机能向他们提供帮助。

晶圆台控制系统

弗朗斯·克拉森被安排开发ASML的晶圆台控制系统,他备感压力。

公司的未来掌握在他手上。

在车队前往维多利亚酒店之前,克拉森认为完成目标并没有什么问题。他正在研发的电动晶圆台需要在1986年年初完成,到那时他们才会发售PAS 2500。但是,在外出静思会上的讨论使他的可用时间减少了半年。斯密特想在5月下旬的SEMICON West展会上展示一台带电动晶圆台的演示用的PAS 2400,这意味着克拉森只有6个月的时间完成这一切。

当克拉森想到这一点时,他就感觉头好像要爆炸了似的。问题一个接着一个,他无法掌握所有要做的事情。他们将如何在工厂制造新电机?新电机适用于镜头吗?ASML要搁置一个技术成熟的油压驱动系统,而替代方案却没人保证可以成功。

事情的真相是ASML根本就没有选择。客户根本不想要油压驱动的机器。他们唯一能做的就是改进Natlab的电动机台。这样一来,公司就要走一条未来几年都将经常走的路:把一切都押在不成熟且未经验证的技术上来。

现在这家有100名员工的公司的未来完全掌握在克拉森的手上。他感觉浑身冒汗。克拉森是公司中最精通新的驱动技术的人,克拉森向PAS 2400项目负责人埃弗特·波拉克表达了他的担忧:要做的事很多,关键的事也很多,但问题也很多。波拉克说:“克拉森,我们都在同一条船上。让我们一个一个地解决这些问题吧。”慢慢地,但可以肯定的是,克拉森开始明白:抱怨不会有用,他们所能做的就是不断向前。

* * *

这个项目规模庞大。在PAS 2400团队的第一次会议中,波拉克将整个日程安排绘制在白板上。定子、静电吸盘、平板空气轴承、玻璃滑门、基座:所有机械部分都绘制在克拉森和他的设计师的时间表上。控制电子和软件也有路线图。

会议结束时,整个日程安排一周一周地写在白板上。波拉克用相机记录了这一切,并将照片交给克拉森。这让他们都有了一种紧迫感。

宝丽来照片:埃弗特·波拉克拍摄于1984年年底,以记录电动晶圆台的发展路线图。

克拉森在Natlab展示了电动晶圆台的原理,但现在他和他的团队面临着一个全新的挑战。他们必须开发一个系统,该系统可以每天保持高速和高精度运转。该晶圆台包含几个关键部件,如定子、包含电线圈的直线电动机部分以及一些需要极高精度的玻璃零件。即使是花岗岩底座也至关重要,它必须完全平坦,因为它是间隙只能为10微米的空气轴承的一部分。

直线电动机是一个全新的概念。电动机已经存在了一个多世纪,但没有驱动系统像喇叭一样工作:一种能使永磁体移动的电磁铁。飞利浦在传统电机(从电动剃须刀到重型发动机)的绕组线圈方面拥有丰富的专业技术。但是,当时世界上没有一条用于生产直线电动机的工业生产线。

直线电动机的核心由多层组成——数张薄电工钢板粘成一叠。胶水或树脂必须将钢板黏合在一起,同时使钢板之间相互绝缘。接下来,铜线必须非常精确地缠绕电机的每个部分,然后绕过电芯。总之,这是一项非常精细的工作。

一年前,Natlab的车间为克拉森手工制作了一台直线电动机。这台手工制作的机器花了一个月的时间。

现在,克拉森必须找到一家能大规模生产定子的工厂。如果一切顺利,ASML在几年内将需要50~100个定子,手工无法制造这么多。此外,生产必须是可控的,实现这一目标的唯一方法是在可靠的制造过程中进行机械化生产。

克拉森和他的设计师们向东前往飞利浦位于阿尔默洛的电机线圈工厂。但是工厂对生产Natlab那些复杂的产品不感兴趣。

但是团队坚持寻找。那张带有紧凑日程的宝丽来照片深深印在克拉森的脑海里。他在飞利浦外部的机器工厂询问,但在那里ASML的名字根本无足轻重。

* * *

但他的工作也得到了积极回应。当他需要上级的帮助时,领导们总是有求必应。在这方面确实很令人满意,他只需要打个响指,理查德·乔治、尼科·赫尔曼斯,甚至贾特·斯密特都会帮助他准备一切,这样他就可以继续工作。

如果这不起作用,他们还有维姆·特罗斯特。这位前S&I的业务部门主管总是愿意在飞利浦庞大的体系中做协调工作:他们会帮助ASML吗?

慢慢地,但可以肯定的是,飞利浦在阿尔默洛的工厂开始意识到,要求定制定子的是一群不屈不挠的人,他们一定要使他们的机器研发成功。克拉森和他的设计师最终与工厂的一些工程师会面,这些工程师准备倾听并帮助他们制造关键的部件。

当时,弱小的ASML仍然不得不极度依赖官僚作风严重的巨头飞利浦,但它坐拥一个技术宝藏。除了它没有公司能够生产微型步进光刻机所需要的先进部件。此外,在这家大型跨国公司的关键职位上,有相当多的人希望帮助飞利浦的合资企业进步。

ASML的人也不断敲开飞利浦其他机器工厂的门。无论他们走到哪里,他们都必须努力按时获得零件,并使零件达到所需的规格;无论他们走到哪里,人们都告诉他们飞利浦不能制造他们想要的东西,因为那些东西太复杂了,但是只要坚持不懈,他们最后几乎都能达成目的。ASML没有其他选项,波拉克的那张简单的宝丽来照片说明了一切,他们必须准时得到部件。

有时他们很幸运。这些极其平坦的镜片和一些精密的玻璃部件在只需穿过几条街道就可以到达的飞利浦的玻璃工厂中就可获得。这几乎是天赐的礼物,因为ASML的零件不可能单靠发送一张图纸就能获得。ASML的设计师经常花费数小时与飞利浦的同事讨论,这些设计师常困惑地想,他们究竟将如何制造这些东西。

在1984年11月和12月,克拉森成为人们关注的焦点。除了光学元件,晶圆机台也是最关键的部分,在当时也是最值得关注的部分。ASML成功与否取决于克拉森的努力。就连斯密特也会每天到他的办公室,看看事情的进展如何。克拉森一直都承受着这些压力。每个人都知道最后期限。

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尽管压力很大,但克拉森还是熬过来了。这位年轻的工程师能得到任何他想要的东西。当他撞上路障时,他只需要吹个口哨,乔治和赫尔曼斯就能确保他能继续前进。订购的零件开始源源不断进入工厂。当克拉森需要增加一个设计师时,他马上就能得到一个。此外,还有精神上的支持。“弗朗斯,如果你能在圣诞节前让那东西跑起来,你就会得到一箱啤酒,上面写着你的名字。”赫尔曼斯和斯密特在秋天的某个时候为他鼓劲。

机械部分不是克拉森唯一关心的问题。光刻机还需要电子元件,以控制机械并为直线电动机供电。雅克·斯塔尔斯(Jacques Stals)负责电子装置的设计。为了能够制造印制电路板(PCB),这位年轻的工程师必须确保他拥有所有零件。电缆、插头、组件等——缺了任何一个,S&I的电路板工厂就无法生产PCB。即使缺少一个小零件,工厂也不能开始组装。

现在克拉森已经去过好几次S&I的街区了,每次仓库员工都会告诉他东西在“仓库的某个地方”。他们能在计算机显示器上看到这个东西进仓库,但就是不知道它具体在哪里。他命令斯塔尔斯把所有东西检查两遍,直到零件到了他的办公室,他才能把它从清单上划掉。

结果还是很有效的。仓库员工很快意识到,直到零件出现在斯塔尔斯的办公室,这种唠叨才会停止。于是,无数的电缆、插头和成箱的零件开始堆积在斯塔尔斯的办公桌旁。

* * *

时间匆匆流逝。这家积极进取的小公司仍依赖于飞利浦,但它已经能很好地运转了。一个非常先进的定位系统已初步完成。双向平稳移动的系统中有干涉仪和先进的电子元件,可将晶圆和镜头定位到精度为1微米的精准位置。

1984年接近尾声,在圣诞节前几周,尼科·赫尔曼斯突然闯入,克拉森正盯着他的系统。

“那么我应该买那箱啤酒吗?”这位研发主任问道,“我们能在圣诞节前让它工作吗?”克拉森刚刚发现了另一个问题,为电机供电的功率晶体管会不断爆炸。“如果你想观察它移动,我可以演示给你看,但只能看一次,因为之后它就会使放大器爆炸”。沮丧的克拉森告诉赫尔曼斯。但赫尔曼斯的反应是热情的:“太棒了!给我看!”

几天后,赫尔曼斯把一箱啤酒放在冰块上,并把大家召集在一起观看演示。克拉森启动他的机器,晶圆台只移动了一下,放大器就嘭的一声爆掉了,随后晶圆台停止移动。在热烈的欢呼声中,他们打开了啤酒。一个大大的笑容在克拉森脸上绽放。

弗朗斯·克拉森在2013年与1984年的部分电动机零件的合影。

快!快!快赶上了

1985年3月11日,天气寒冷多风,24名ASML员工在埃因霍温登上一辆公共汽车,他们要去德国的威尔城;停留一天后,他们将前往在苏黎世举办的欧洲国际半导体设备展览会(SEMICON Europe)。

贾特·斯密特是乘客之一,这位首席执行官是ASML团队中唯一参加过SEMICON展会的成员,他认为,这次展会是工程师近距离观察竞争对手的理想机会。

维姆·亨德里克森也在公共汽车上。几个月来,这位负责光刻机软件的人一直渴望说点什么。他是机器开发和生产链的最后一环。在组装整个系统之前,软件开发人员无法真正测试他们的代码。PAS 2500必须在1986年1月1日启动并运行,但无论亨德里克森如何压缩时间,他都会延误三四个月。

在去瑞士的路上,当斯密特坐在他身边时,亨德里克森告诉了他这个坏消息。他就是这样,不能控制自己不说出来。亨德里克森解释说,在1986年1月1日交付PAS 2500是完全不可能的。“你可以忘掉它,这就是不可能的。”他告诉斯密特。不出所料,这位首席执行官咆哮道:“然后我们就可以*了吗?”但他没有询问亨德里克森具体细节。

亨德里克森的说法已经触动了他的神经,斯密特不愿意听到坏消息。负责该项目的赫尔曼斯没有表示存在问题,尽管斯密特经常到公司工作,应该知道事情的真相,但他对此却假装不知道,前往苏黎世的途中发生的事情也没有改变这一点。

* * *

Eaton-Optimetrix、GCA、尼康、优特和Censor公司(现在是Perkin-Elmer的子公司),都在苏黎世的SEMICON展会上设有展位。佳能没有来。所有公司都在为VLSI一代光刻机做准备,ASML必须弄清楚比赛已经进展到什么程度了。

首先,他们必须弄清楚竞争对手是如何设计机器的。为此,团队中的每个人都分别负责观察特定的子系统。他们必须了解每家公司的设计方法:光源、掩模抓手、镜头、对准系统、晶圆台、晶圆抓手和电子部分。此外,他们每个人都被赋予了一项特殊的任务,例如“了解有关GCA的一切”。

掌握信息不是那么容易的,GCA和尼康都在精心保护他们的技术。每家公司都在自己的黄色小展台房间内安装了光刻机和晶圆显影机,这引起了游客极大的兴趣。里面装有摄像头,外面有监视器,游客可以看到它是如何工作的。但是只有真正的客户才能进入黄色的房间。不过这些荷兰工程师们通常在等客户来的时候假装闲逛,以便在供应商解释细节时偷听他们需要了解的内容。

在接下来的几周里,弗里茨·范霍特编制了一份出差报告,其中记录了他们的所有发现。他写道,每家光刻机公司都有一个机械晶圆台,均使用导程螺丝杆或球螺钉将其与普通电动机相结合,比ASML的直线电动机的精确度低很多。所有机器都可以加工直径为5~6英寸的晶圆。许多想得到的信息仍然难以获得,他们对镜头和光源方面的信息几乎一无所获。

斯密特确实实现了他的目标:SEMICON展会给他的工程师们留下了深刻的印象。他们见证了4个竞争对手拥有完备的可交付的机器。根据所看到的,他们可以得出一个令人放心的结论,即还没有一个系统真正为VLSI芯片做好准备。但同样清楚的是,竞争对手不是坐着不动的,他们需要加快速度。

我们可以赢的

1985年春天,PAS 2400制造完成,现在是时候向世界展示它了。贾特·斯密特试图说服飞利浦的Megachip项目团队购买这台机器,他试图赢得罗尔·克莱默的信任。但这位负责建设Megachip测试工厂的人很快就厌倦了斯密特销售式的宣传:“贾特,我们会自己决定需要什么。”

但不管怎样,飞利浦并不是斯密特的主要挑战。他的主要挑战是在美国站稳脚跟,因为美国是半导体产业的发源地,也是全球近一半的芯片的来源。当斯密特回顾焦点小组会议的视频时,他很清楚,即使是二线芯片制造商也不会与一家微不足道的欧洲光刻机公司合作。

为了克服这一点,斯密特想要提升ASML的形象。他认为成功的一个关键点在于智慧营销。欧洲技术的优势必须被印入美国人的脑海中。斯密特知道他必须按美国人的规则参与这场游戏:一次壮观的、有冲击力的、声势浩大的宣传。他没有使用母公司ASM使用的媒体机构,ASM用无聊的照片做的让人昏昏欲睡的广告,对于斯密特来说不够独特。

ASML在美国凤凰城的一位销售人员向他推荐了洛杉矶的一家创意机构。斯密特打电话给其老板查克·罗伯茨(Chuck Roberts),对方对这个挑战很感兴趣。这位ASML的首席执行官飞往洛杉矶进行了一轮紧张的谈判。两人一致认为:他们要讲述一群善于发明创造的荷兰工程师的故事,这些工程师制造了一台非常高级的机器,而且注重承诺和稳定性。

斯密特和罗伯茨选择积极的广告活动。他们想在1985年的SEMICON West展会上引起轰动,那里是展示芯片设备的最佳平台,ASML的第一台光刻机将被放在聚光灯下。5月21日至23日,在圣马特奥,1,000家供应商将向来自世界各地的45,000名参会者展示他们的设备,这绝对是万众瞩目的场所。ASML在SEMICON West展览手册中占据了10页之多。

对于敏感的荷兰人来说,这次广告活动是大胆的。微小、谦逊的ASML正在为树立形象全面出击,广告标题醒目、吸睛:“ASML展示的产能让GCA和尼康都不敢看”。在几页中,ASML将其PAS 2000的性能与市场领先者的产品进行比较。荷兰机器的速度明显更快,因此产量可以提高10%~20%,其精度(另一个主要竞争因素)也高得多。广告巧妙地省略了光学元件上的比较,因为它的CERCO镜头其实没有竞争力。

* * *

ASML在SEMICON West展会上展示PAS 2400之前,在5月初就得到了一个振奋人心的消息。荷兰政府经济事务部向该公司提供780万美元的贷款,国家媒体也注意到了这一点。斯密特抓住机会大力宣传ASML及其最新的PAS 2400。

毫不夸张地说,他的策略是大胆的。ASML成立还不到一年,几乎没有卖过任何光刻机,而且他们还在飞利浦工业园区的临时简易房里工作,但斯密特毫不犹豫地将他的公司描绘成未来的市场领导者。斯密特在接受一家主流的全国性报纸的采访时说:“该公司的计划是在5年内成为全球最大的芯片工业光刻系统供应商。”这家报纸同时分享了一些细节:“首席执行官斯密特先生的目标是在1989年为公司带来1.5亿美元的收入。”

报纸还提到了该公司为SEMICON West展会而进行的积极的广告活动。尼科·赫尔曼斯也在文章中说他们是最有实力的,“这听起来可能有些傲慢,”这位研发负责人告诉记者,“但我们会把竞争者抛在脑后。我们只参加最高级别的联赛。”

* * *

弗朗斯·克拉森花了几个月的时间研究电动晶圆台,因为他将在5月的SEMICON West展会上演示PAS 2400,他其实还不太自信。

当他看到ASM在展会上的展位时,他的神经才真正受到冲击。一年前,飞利浦在展馆的一侧占据了一个租金较低的地方。现在,ASML使用母公司ASM的展位,其位于中央展馆最昂贵的区域,旁边就是日本巨头佳能和尼康。

但是当克拉森看到竞争对手的机器时,害怕的情绪很快就消失了。时髦的小册子中他所熟悉的光刻机在演示中都出了问题。工程师们一直在研究它们,而且在维修时展台经常关闭。克拉森利用这些机会偷偷观察到了他们的光刻机的内部结构,这位ASML的资深工程师立即看出这些机器只是原型。

而PAS 2400几乎一直在运行,其偶尔的停机根本不是大问题。现在,克拉森可以根据技术优势来判断竞争状况,他的信心有所增长。他意识到ASML的技术有很大的潜力。

SEMICON West展会前夕的广告活动

在1985年的SEMICON West展会前夕,ASML对市场领导者GCA和尼康发动了全面的正面攻击。广告活动突出PAS 2000的强项,但巧妙地避开其光学弱项。这里提到的PAS 2000其实是带有电动晶圆台的PAS 2000B型机器,内部称为PAS 2400。

我们听见了你的话,杰瑞

贾特·斯密特为ASML在美国营销而聘用的查克·罗伯茨很有主见。他知道为什么大多数广告都不起作用:无一例外,它们只展示一些关于工具或机器的无聊的照片。罗伯茨告诉斯密特:“这种产品广告对于汽车、飞机和手表来说都很好,但它并不能传达芯片设备的信息。”这位美国人给ASML的首席执行官上了一节简单的营销课。

这是基本的心理学知识:人们对别人的照片不感兴趣,他们只对自己的照片感兴趣。罗伯茨说,专业市场也不例外。“因此,如果你的首要任务是赢得AMD,”他告诉斯密特,“那么我们需要专门针对他们做一个广告。”

不久之后,罗伯茨发现了一个难得的机会。在SEMICON West春季宴会上,杰瑞·桑德斯(Jeny Sanders)哀叹美国芯片设备制造商的质量和服务。他们的系统太糟糕了,桑德斯不得不向日本购买设备,这位AMD的首席执行官讨厌这样。他的信息是明确的,每个人都理解他。他的美国同胞们认为日本是一个冷酷的劲敌,这要归功于日本在芯片、汽车和计算机方面的经济成就。

罗伯茨读到了桑德斯的尖锐评论,立即拿起电话:“斯密特,桑德斯正在抨击GCA和PerkinElmer,因为他不满意他们的机器,只能被迫在日本购买,但他宁愿不买。这是我们的机会!”斯密特立即采取行动了。

他让罗伯茨在《电子新闻》和《半导体国际》行业期刊上预订了广告版面,一个引人注目的广告出炉,它直接对AMD的首席执行官喊话。广告标题是大而粗的文字:“我们听见了你的话,杰瑞。”标题下面写着:“ASML光刻机接受杰瑞·桑德斯的可靠性挑战,保证提供90%的运行时间,这几乎是该行业现在的2倍。杰瑞,你甚至不用担心圣安德里亚斯断层的地震,我们这些机器是牢不可摧的。”

* * *

一个月后,斯密特和斯特夫·维特科克拜访了AMD。他们不知道他们的“我们听见了你的话,杰瑞”的广告是否奏效,但他们在加利福尼亚州的销售工程师汤姆·坎德里斯(Tom Kandris)已经能够安排他们与科林·奈特(Colin Knight)的会面,而科林是AMD负责采购生产设备的人。

当他们在森尼韦尔的AMD大厅里等待时,他们得到了令人不快的消息。AMD的工程经理,一个微胖的女人,来向他们道歉:“很抱歉,经过进一步考虑,AMD的领导无意与你们会面。”斯密特和维特科克询问原因,他们听到了和飞利浦Megachip项目经理克莱默评价PAS 2400一样的保留意见:CERCO镜头的光场太小。AMD的工程经理说,他们也没有空置的会议室和斯密特他们谈判。

坎德里斯,这位有着漂亮栗色头发的希腊裔英俊男子,施展他所有的魅力,终于说服他们安排一次会议。毕竟ASML的首席执行官和执行科学家大老远地从欧洲飞来参加这次会议。

经过长时间的等待,这位工程经理回来了。不过奈特先生的日程排满了,他们只有半小时的时间向一群年轻的工程师展示他们的产品。在斯密特的简短介绍后,维特科克向AMD的工程师解释了ASML光刻系统背后的概念。但工程师们提的问题非常尖锐。

但维特科克并没有皱眉头,即使问题很无理,他仍然保持了良好的风度。他向工程师们致以友好的赞扬,夸赞他的年轻听众提出了很有意思的问题和话题。这位ASML的执行科学家耐心地回答了这些问题。房间里的气氛开始转变,场面变得活跃起来。

2个小时后,AMD的技术负责人奈特突然探进头来。斯密特和维特科克知道他们的机会来了,于是他们请奈特进来加入会议。

会议一直持续到下午1点左右,斯密特问奈特是否饿了,他们可以一起吃午饭,奈特表示同意。用餐期间,AMD发现他们对这家非日本光刻机供应商感兴趣。对话是友好的,但很明显,ASML目前还无法帮助AMD。

这家美国芯片制造商不需要PAS 2400,PAS 2500还得一年才能准备好。斯密特说:“奈特先生,如果我们给您一台PAS 2400免费使用,您觉得怎么样?您可以测试我们先进的对准系统和晶圆台。这样,您就会对未来的PAS 2500有一个很好的认知。”奈特非常喜欢这个建议。

AMD公司

1985年夏天,ASML意识到了严峻的现实。1984年年底,市场已经开始走下坡路,现在整个半导体行业都停滞不前。潜在的光刻机客户很少;日本市场是一座不可攻克的堡垒,主要的美国公司仍在购买尼康的光刻机。

贾特·斯密特开始怀疑自己的判断。芯片行业正处于暴风雨中。ASML甚至没收到来自正经的芯片制造商的任何订单,连飞利浦都拒绝做出购买承诺。要摆脱困境还有很长的路要走。

在ITT时,斯密特学会了无论发生什么都要按预算操作。现在,ASML感受到了降低成本的压力。但与此同时,这位首席执行官知道,如果他开始削减战略投资,他的公司将会失败。如果他削减研发预算,第一个受害者将是PAS 2500。削减成本就等于告别未来。

1985年夏天,当ASML搬到位于维尔德霍芬的新大楼时,斯密特决定不冒险,所以没举行任何庆祝仪式。

与此同时,母公司ASM的处境却越来越艰难。该公司像火箭一样飞速增长多年,但在1985年,它第一次出现亏损:收入1.05亿美元却仍亏损580万美元。当母公司遭受损失时,它的子公司却还在不停地烧钱,这是希腊悲剧式的开场,母公司和子公司都被自己的问题所困扰。他们的利益和目标开始出现分歧,矛盾开始积累。

* * *

然而,公司也有一些令人高兴的事。除了飞利浦承诺为Megachip项目购买PAS 2500外,奈梅亨的Elcoma还希望在1986年购买10~15台光刻机:其中一些来自ASML,另一些来自GCA。Elcoma于1985年6月下订单。到1986年年底,它希望收到技术成熟的PAS 2500,而ASML可以同时提供PAS 2400进行评估。

在接下来的几个月里,半导体行业衰退加剧。AMD也发来了坏消息,斯密特和维特科克的访问引起了该公司的兴趣,但由杰瑞·桑德斯领导的AMD在短期内不需要新机器。

奇怪的是,市场发展放缓反而对ASML有利。因为无论如何,这家荷兰公司现在并不能交付机器,危机为ASML暂时提供了一些喘息的空间。

工人在ASML位于维尔德霍芬的第一栋大楼内的新超净室中组装

照片中:维克托·范本德(Victor vanBunder)(左数第二个,留着胡须),图翁·范登·克尔霍夫(Toon van den kerkhof)(左,在前景)。

但芯片市场的变化是周期性的,AMD比任何人都清楚这一点。为迎接下一次复苏,该公司邀请了4家光刻机制造商为其位于得克萨斯州奥斯汀的工厂提供试运行的光刻机。AMD希望在9个月后开始在这个美国南部小镇生产新一代VLSI芯片。因此,它对新的光刻机进行了全面的评估和筛选。

桑德斯的AMD一直追问:ASML何时才能交付其第一台PAS 2500?

其实ASML不可能在1985年夏天甚至秋天交付PAS 2500。该公司别无选择,只能兑现斯密特最初的承诺,并发送一台PAS 2400以供测试。斯密特乘坐航班飞往圣何塞,向AMD的管理人员传达该信息。飞机落地后,他直接开车到最近的万豪酒店,迎接他的客户经理脸色很差。“AMD已经发来通知说我们出局了,他们不能接受PAS 2400。对不起,贾特。他们也不想开会了。”

遭到这当头一棒后,这4个人继续讨论其他话题。斯密特通过反复咒骂美国的破咖啡来缓解他的沮丧情绪。等他平静下来后,他的美国员工告诉他,AMD很难说服加利福尼亚州的工程师从气候温和的硅谷搬到炎热的奥斯汀。当时,奥斯汀只是得克萨斯州沙漠旁边的一个小镇。

斯密特又看到了机会。他建议发传真给AMD的管理层,提出将PAS 2400交付给奥斯汀测试。他还表示愿意帮助他们找到愿意去得克萨斯州的工程师,此外,他还愿意向AMD提前交付首批PAS 2500中的一台。斯密特这么说显得有一点滑头,因为其实第一台机器已经承诺交付给飞利浦。

斯密特在虚张声势。他很清楚,没有一个美国工程师愿意搬到闷热的得克萨斯州。但几周后,他得到了满意的答案:AMD同意接受PAS 2400进行测试,但有一个条件,就是他们希望在几周后就收到机器。

当时,斯密特不知道ASML是顶替了Perkin-Elmer的位置:该公司已经放弃了,并停止开发步进光刻机。GCA的处境也越来越艰难。佳能和尼康可以提供更好的机器,但AMD的桑德斯不愿自己的美国公司依赖于日本人。AMD没有让ASML帮助他们在奥斯汀寻找工程师,这让斯密特长舒了一口气。

1985年7月,ASML的官方记录里提到了3家有意订购PAS 2400的公司:AMD、赛普拉斯和美国国家半导体公司。

* * *

ASML将AMD视为重中之重。公司决定向得克萨斯州的试验工厂发送第一台PAS 2400。加班加点地工作后,这台光刻机在由莱因·梅耶带领的一个小团队的护送下抵达奥斯汀。

在那里,他们得知尼康的两名工程师已经在那里工作了两个星期,试图让他们的机器运行起来。当梅耶和他的队员们在一天之内启动并运行PAS 2400后,他们取得了心理上的胜利。

但在接下来的几天里,出现了一个严重的问题。PAS 2400是ASML的第一台配备直线电动机的设备,长时间运行所产生的热量使机器发生变形,这有悖于ASML所有关于高精确度的说法。梅耶设法推迟了验收测试,但他必须在AMD工程师在场的情况下再次进行测试。与此同时,他回到维尔德霍芬的同事正在通过日以继夜的工作来解决这个问题。他们终于想出了一个解决这个棘手的问题的方法,但只有开发者扬·范杜文沃德(Jan van Duiven-voorde)能够做到。这是暂时的解决方法,但它将为团队赢得时间来制定永久的解决方案。斯密特和他的管理团队决定冒险,把不会说英语的范杜文沃德送到奥斯汀去施展他的“魔法”。

梅耶想知道如何把范杜文沃德偷偷带进车间。他决定在晚上抓住机会,他的出入证一天24小时都有效。梅耶在机场接到他的同事,然后直接开车到AMD的试验工厂,在那里他们解决了机器故障。第二天,AMD进行了测试。当梅耶庆祝他们的成功时,范杜文沃德已经登机返回荷兰了。

1985年10月,斯密特召集他的整个团队,告诉他们PAS 2400在汉堡的飞利浦和在奈梅亨的Natlab都成功运行了。他自豪地说,在AMD的机器两天内就正常工作了。美国人也在评估尼康。“但它已经到达工厂一个星期了,仍然不能正常工作。另一个竞争对手也已经退出了。”这位首席执行官大声补充说,客户对竞争对手的机器不满意。

斯密特回想起他之前的商业计划和卡通演示。他预测的市场衰退已经开始了。前三名相当明显:尼康、佳能和GCA。斯密特站在他的团队面前,发表了一个比他几个月前的观点更有说服力的观点。在前三名的后面,还有两家公司,其中之一就是ASML。

GCA也快不行了,这位昔日的市场领导者无法与日本的公司匹敌。此外,尽管公司销售部门发出了警告,但其管理层仍生产了过多的机器。在日益加速的经济衰退中,GCA无法售出这些机器。这场会议后一周多,GCA的流动性问题就上了新闻。1985年11月的第一周,该公司股价*,从35美元跌至7美元。

几个月后,AMD告知ASML它赢得了第一,但机器还有几个问题:CERCO镜头的性能低于标准,机器产生的灰尘过多。所以,尽管赢了,但ASML并没有接到订单。

* * *

1985年秋天,韦尔登肖特走进斯密特的办公室。这位首席财务官怀疑ASML的工程师在PAS 2500上开发的一些功能没有意义,随着交货期限的临近,这样将浪费很多时间。

韦尔登肖特经常监视工程师们。他有时会在大厅里随便找一个人聊天,这曾惹恼了开发主管尼科·赫尔曼斯。不过这一次他观察到,工程师们正在装备的PAS 2500,使用的是6英寸大的掩模,而不是5英寸的行业标准掩模。

斯密特立即警觉起来,因为没有人和他说过这个问题。他知道工程师们存在着一个严重的毛病:他们完全不了解客户的需求,他们完全孤立地进行研发创造。作为一家小公司,ASML如果偏离行业标准,就会承担过高的风险。

几天后,当斯密特身处硅谷时,他探明美国巨积公司的状况。“顺便问一下,”他问工厂经理,“你觉得6英寸的掩模怎么样?它们能成为未来的主流吗?”答案很明确,“你疯了吗?你知道将我们的掩模从5英寸变成6英寸要花多少钱吗?”那人摇摇头说。“6英寸意味着很多很多钱,先生。”他补充说道,他指的是昂贵的镀铬薄膜掩模。

斯密特观察到的情况是正确的。1984年年底,研发部门一致决定按6英寸掩模制造PAS 2500。但首席执行官和他的首席财务官不知道的是,他的工程师已经知道了这个结果。同年秋天早些时候,马丁·范登布林克前往加利福尼亚州了解最新的技术要求,因为PAS 2500将在几个月后,即1986年年初发货。令他沮丧的是,根据他在一次行业会议上以及他在掩模车间的所见所闻,每个人都在使用5英寸掩模。范登布林克立即意识到:我们的6英寸掩模可能没人要。

回到维尔德霍芬,斯密特和他的团队很快意识到,他们正在面临一场灾难。工程师们看到他们的上司非常了解市场动态,感到获得了支持。斯密特要求他的员工再次列出PAS 2500的规格,并删除所有当前并非绝对重要的内容。时间不多了,他们必须回到基本面:唯一重要的就是达到在最后期限之前交货的基本要求。

他的工程师们匆忙地聚在一起讨论时间安排。6英寸掩模的自动系统的开发立即被中止。一个5英寸掩模的自动系统却不能在几个月内制造出来。他们将在4个星期内为PAS 2500打造一个手动掩模抓手。在同一次会议上,工程师们为5台在建的机器设定了新的完成期限。时间最紧急的是为Natlab制造的光刻机;它必须于1986年3月1日发货。两个月后,在位于圣马特奥的SEMICON West展会上则需要新的演示样机。

但是在ASML没有人能确信他们完全正确,连斯密特也不能肯定。他飞遍了他的整个美国销售团队所在的地方,与PAS 2500开发团队进行协调。斯密特对工程师有着天生的不信任,他希望确保开发和销售完全同步。

斯密特与7名美国销售同事的谈话给他提供了方向,但没有提供百分之百准确的信息。例如,销售人员说,事实上一些芯片制造商正在考虑6英寸的掩模,他们预计在18个月至2年内可能会发生5英寸到6英寸的过渡;在向客户推销产品时,销售团队发现蔡司i线镜头比较吸引客户。

两周后光学问题得到解决,已经很明显的是,蔡司在制造i线镜头时遇到了问题。显然大多数芯片制造商更愿意选择久经考验的g线镜头。飞利浦也发出相同的信息,这有助于ASML确定目标。ASML决定使用蔡司的g线镜头,GCA和日立也在使用这款镜头,他们将使用i线镜头的计划暂时延后。此外,客户还没有准备好迎接i线光源。

在过去的这几个月里发生了很多让人困惑的事,但有一点很清楚:竞争对手GCA陷入困境,消息传到维尔德霍芬,蔡司开始更关注荷兰客户的生意。ASML将使用SMI容器配置其光刻机,这些容器在芯片厂里用于运输芯片晶圆。斯密特可以接受它,它虽然是ASML机器的一项可选功能,但更具有营销价值。它之后将成为PAS 2500最有魅力的功能之一。

斯密特的发声板

1985年8月和9月,ASML迁至维尔德霍芬的新大楼后,时间压力越来越大,问题开始堆积。PAS 2500的进度跟不上计划。贾特·斯密特看到被催着干活的员工,也增加了挫折感,他知道自己不能忽视它。有一天,他走进了皮姆·坎(Pim Kan)的办公室。斯密特以前在Holec时结识了坎,在解雇了从飞利浦过来的第一位人力资源主管后,斯密特聘请他管理ASML的人力资源事务。坎说,员工们一直在抱怨薪酬不透明。

坎的评价与斯密特的评估相符。在一年的时间内,ASML又雇用了几百人。飞利浦最初的50名员工必须培训新同事,同时他们正以创纪录的时间制造PAS 2400和PAS 2500。

每个人都有自由为公司做自己认为正确的事。但是对斯密特来说,他的员工们看起来越来越像一群缺乏组织纪律的“自由人”,没有像样的规章制度来约束他们。他们确实有一张组织架构图,但那张纸没有多大的意义。公司缺少实际的架构和稳定性。斯密特任命了各个团队的经理,但他们也是新人,并且对如何管理团队知之甚少。简而言之,他看到一片混乱。

斯密特告诉坎,他正在探索如何建立合理的组织架构:公司缺少一个工作绩效评价体系和相对应的薪酬体系。斯密特想聘请一家美国咨询公司来解决这个问题:“毕竟,我们正在打美国式的战争。”他的人力资源主管建议他去找Hay公司:“他们是这个领域的专家。”

* * *

不久之后,乔斯·博默斯(Jos Bomers)接到一位同事的电话。博默斯是Hay公司的高级顾问,组织设计和建立公司文化是他的专长。几年前,飞利浦首席执行官威斯·德克曾聘请他来评估公司的400名经理,当时他遇到了乔治·德·克鲁伊夫和维姆·特罗斯特这样的人。在20世纪80年代初,他俩曾经非常详细地告诉他公司的问题——光刻机项目。

博默斯的同事直截了当地告诉他,ASML的贾特·斯密特曾经拜访过他。他听了斯密特的故事,但他还不能评论。“我搞不懂这个人,”他告诉博默斯,“他一直在不停地讲话,我根本不理解他在说什么。我不明白那里的情况。你能接手这个客户吗?”

博默斯在埃因霍温市中心的一家中餐馆与斯密特见了面。他发现他的同事没有夸大其词,斯密特确实口若悬河。ASML的首席执行官第一次开始担心他的公司。

但斯密特仍然是斯密特,他热情地描述了公司所面临的机会。很显然,他担心员工的动力不足,担心他的团队3/4的成员都是固执倔强的工程师。在两人谈话的几个小时里,博默斯问了几个问题,俩人讨论得很热烈。在谈话结束时,他们都认为这次谈话根本没有取得任何进展。他们计划安排再次见面。

一周后,传奇故事继续,这次还是在中餐馆。再一次,斯密特口若悬河,而他的对面却十分安静。在博默斯花了90分钟听了斯密特关于他管理团队的想法和故事后,这位顾问决定进行干预。他意识到是时候采取措施了。如果这次谈话还以上周的方式结束,他们将再次一无所获。博默斯说:“斯密特先生,你谈了很多。我理解你所说的大部分内容,但还有很多内容是我不懂的。”然后他直截了当地说:“我认为你不太善于倾听。”

斯密特立刻绷紧了神经,他坐直了,但博默斯还没说完:“斯密特先生,我想你已经没有了组织条理。”他接下来的话更刺耳:“我听到你谈论你的管理方式,你已经失去了员工的信任。现在他们已经不再理解你了。我不是百分之百肯定,但我绝对说对了99%。”

斯密特惊呆了:“你为什么这么说?”博默斯解释道,在两次会面中,他都在认真聆听。“建立薪酬体系不是你的首要任务,这个可以稍后再解决。你的公司很小,发展很快,一切都在高速运转中。”斯密特立刻明白了并且产生了兴趣。然后,博默斯说:“你知道你团队中的关键人物对合资企业的看法吗?还有对你的看法?对管理的看法?现在是你要自己去发现的时候了。”

博默斯已经提出了他的观点。他建议斯密特评估公司的情况,并描述了评估的方法。在一周内,ASML的首席执行官就能确切地了解自己公司的情况。但是,要做到这一点,他必须百分之百地配合博默斯。博默斯顾问描述了调查的步骤。他说,只有斯密特告诉他的员工为什么这么做,这才能奏效。“你还必须告诉他们你能反馈什么。”

斯密特听到一个好主意时,他本能地就知道这是一个好主意。他聆听并承认了博默斯计划的价值后,没有考虑太久。他简短地回答道“好,好”,并聘请博默斯来执行计划。博默斯很少遇到这么雷厉风行的领导。他很惊讶,斯密特的回应是一个信号。他花了几个小时听斯密特滔滔不绝地演说,当他最终插话时,两人只用了两秒就达成一致,他们很有默契。所以几分钟后,博默斯拿到了这个咨询项目。

* * *

斯密特则有不同的看法。博默斯的提议刺激到了他,不是因为他同意这位顾问关于他不了解他的员工的论断;相反,斯密特坚信他与他的团队之间有着密切的联系。飞利浦呆板的坏毛病在ASML已经消失,但公司缺乏结构化管理,他担心这样下来员工可能不能帮助公司成功。

ASML正在建造一艘战舰,而战争已经开始。战舰还没有完工,但对方的大炮已经开火,血流成河。场面极其混乱,水手们在疯狂地来回奔跑,虽然船长已大声下达命令,但他的手下不知道如何把斯密特的作战计划、应变措施和战略变成具体行动。

斯密特不仅希望他的团队能够制造一台可靠的光刻机,还希望他的公司成为一个统一的整体。营销、开发、运营和物流:这些部门都必须像一台台运转良好的机器。这就是斯密特讨厌那些只重视技术的人的原因。忘记技术吧,他告诉他们,必须各方面配合才能成功。这不是演奏钢琴或小提琴,而是指挥一场交响乐;这不是迈克尔·乔丹,而是整个芝加哥公牛队。斯密特唯一的问题是,我该如何让我的“公牛队”更有活力呢?

这不是一个简单的问题,因为斯密特处在一个近乎超现实主义的环境中。在他周围,工程师们正在为开发世界级技术而展开一场令人心烦意乱的竞赛,这样他们就能在不切实际的最后期限前完成。但是这个期限是ASML生存下来的唯一机会。这位首席执行官不顾所有反对的声音。如果PAS 2500不能按时交付,他的公司将分崩离析。这一点,他非常清楚。

* * *

斯密特既是航空工程师又是理论物理学家,他能注意到被别人忽视的一些联系。他非常热衷于向人们传达他的愿景,但不是每个人都愿意倾听。他们中的大多数人还有很多事要操心,员工们都忙着制造光刻机。

ASML的工程师大军没有时间接受心理辅导。薪酬体系糟透了,员工们曾经大声向人力资源主管嚷嚷。但发泄完这些不满,他们还是忙于制造他们的机器。他们对公司的财务状况毫不担心,因为斯密特和杰拉德·韦尔登肖特将这些信息严格保密,尽管他们中的一些人曾注意到ASML的首席财务官总在他的办公室里来回踱步。

事实上,斯密特对ASML的看法的确来自对公司精神状态的正确分析。超净室里的人并没有感觉到公司存在任何混乱。新员工给公司注入了活力,飞利浦的团队非常乐于见到年轻的同事掌握这些技术。研发部门正在迅速转变为一辆不可阻挡的坦克,执行着一项神圣的使命——赢得光刻战争。最后期限是明确的,他们的目标是充满挑战且激动人心的:他们要争夺第一名,赢得金牌。

但是员工们确实面临着另一个问题,他们很少见到老板。当他们看到他时,老板常常给他们带来麻烦。员工们正以惊人的速度齐心工作,完成任务,而老板像一枚无制导导弹一样,下达着矛盾的命令,干扰他们的工作。

斯密特不关心他的团队的挫折感,他有一个更高的目标。他本能地感觉到,他的公司过于专注于自身,而不是客户。那些穿着实验室无尘服忙碌的“蜜蜂们”,并不知道外面的世界是什么样子。他们安全地躲在超净室里,有充足的时间来思考。斯密特的做法正好相反,他不是在看员工能做什么,而是在看他们需要做什么。对他来说,一切都需要围绕着市场来获得动力。他毫不留情,命令他的员工必须遵守规定的最后期限,即在ASML向客户交付机器的日期前准备好。

斯密特的指令对研发部门有重大影响。他的一些干预是极其必要的,例如解决光源和掩模大小的分歧。但是工程师们无法理解他的另一些命令。通常,斯密特前后矛盾的命令让他们摸不着头脑。光刻机老将赫尔曼·范希克秉持他一贯的怀疑态度,为斯密特起了一个新绰号——最高总司令。

* * *

与此同时,斯密特和博默斯之间的关系日益密切。ASML的首席执行官认为Hay公司的顾问是他可以放心信任的人。博默斯钦佩斯密特的智慧,一个兼备技术洞察力与社交能力的天才人物。他知道如果没有积极进取的团队,世界级技术就像一盒废金属一样没有价值。

博默斯通过访谈来开始执行这场计划。在这个过程中,他认识了ASML职位最高的20名员工。马丁·范登布林克、理查德·乔治、尼科·赫尔曼斯、埃弗特·波拉克、斯特夫·维特科克等人:所有最高级别和次一级别的管理者都提供了匿名反馈。仅仅一周后,情况就很清晰了。员工们欣赏公司的自由和建设性的气氛,但每个人都有自己的担忧。

有些人对他们的任务有疑问,他们很怀疑这样继续下去真的管用吗?没有任何客户,也没有制造出任何机器。ASML就像狂野的西部,每个人的职责都不明确。他们的老板像疯子一样到处跑,他到处花钱,就像钱会过期一样。他们认识贾特·斯密特,他们听过他的讲话,但他是对的吗?他从未给员工任何承诺。他们看到这家公司在没有新资金来源的情况下,花钱如流水。高层们担心他们很快就会被告知演出已经结束,钱花完了,路走到尽头了。

斯密特在一个晚上召集了他的20位高管开会,向他们展示Hay公司提供的企业文化调查结果。到会的人完全同意调查结果。调查结果在一些问题上对斯密特表示赞扬;但对于其他问题,大家的态度不一。他可以给员工打气,他可以讲一个很好的故事,他对于经营公司非常专业,但他的团队不清楚他的战略。

斯密特的人总听到他说ASML将成为市场领导者,但他们仍然必须打造机器才能使它成为现实。他疯了吗?这听起来不错,但对于队员来说,斯密特的说法站不住脚。一切都必须同时进行:开发、营销、招聘、建造新建筑、寻找投资者。

对于这样的冒险,你需要一个明确知道做事方法和其中原理的团队。大家需要知道目标是什么。但是,目前的团队无法找到斯密特的愿景中可以执行的明确重点和优先事项。

* * *

博默斯的调查让斯密特按下了重置按钮。这位首席执行官知道ASML拥有出色的技术,因此战略有实现的可能。他一次又一次地告诉他的“公牛队”:他确信他们未来能够夺得金牌,但博默斯已经向他表明这还不够。每个人都喜欢在ASML工作,并欣赏公司给予他们的自由,但公司缺乏结构化管理。在博默斯的帮助下,斯密特得出结论,公司需要更多的规则和秩序,他的人将不得不放弃一些自由。

这场企业文化调查让团队的情绪得以宣泄,斯密特的坦诚激励着他们。员工们看到斯密特承认公司存在的问题。坚冰已经被打破了。员工们也多了一些耐心:他们明白斯密特不能一次性解决一切问题。

然后,斯密特和他的管理团队要求Hay公司撰写一份建立业务流程组织的建议书,包括良好的绩效审核和薪酬制度。这是一个规模极大的项目,将改变其维尔德霍芬和凤凰城办事处的组织形式。ASML再次通过引入外部的智慧而变得更加强大。

* * *

在接下来的几年里,博默斯成为斯密特的发声板,以及斯密特在公司之外的主要知己。这位顾问是一个讨人喜欢的人:经验丰富,有洞察力。几年来,他们一起吃遍埃因霍温的餐厅。斯密特找到了他需要的心理专家,他可以向博默斯倾诉,集中思想并排解心中的压力。终于,他可以自由地诉说他的疑惑、痛苦和愤怒,而没有不良后果。他可以说出他不能让员工或董事会知道的忧虑。

虽然博默斯只是以局外人的角度观察公司,但几个月后,他也开始怀疑。ASML的光刻机项目是一个永不满足的“*的怪物”。直到那个怪物生了“孩子”,公司才有东西可卖,然而它的饥饿感却无法消除。这位顾问不是工程师,但当他看着ASML时,他看到无数的钱流向无底洞。

博默斯有时也会惊恐。在会谈中,他多次告诉斯密特:“一切都很好,但这一切都花了太多的钱。Hay公司的服务也很贵。GCA和尼康正在服务一个成熟的市场,你甚至没有产品,你投资起来就像疯了一样。这种信心从何而来?你必须坚信你的技术是无敌的。斯密特,这不是我应该评论的事情,我不是工程师,但如果你走错这一步,那么你会摔得很惨。”斯密特对这类评论的反应总是云淡风轻:“是的,是的,我知道。”

他的计划不能更改,这是斯密特的底线。他正在解一个巨大的谜题,理论上ASML可以把所有零件都组装在一起。但在实践中,斯密特也不完全确定自己是对的。然而,他不是那种在焦虑中无法自拔的人。他是一个理论物理学家,他确信他的想法行得通。这是他自信的基础,也是他寻求解决方案的指南。

他们经常谈论公司的管理和斯密特的处事风格。博默斯认为斯密特扮演了一个重要的角色。工程师可以自主工作,但在最初几年他们肯定需要指导。怎么描述贾特·斯密特呢?他是一个能够影响企业的人,他有勇气投资并全力以赴达成目标。

博默斯与ASML保持了多年的合作关系,即使在斯密特离职之后这种关系也未中止。这些年来,他亲眼看到ASML团队中出现了罕见的活力,从而催生了繁荣的公司文化。

紧急会议

1985年6月,理查德·乔治要求弗里茨·范霍特确定PAS 2500的时间计划表。这位年轻的工程师开始工作后不久,就明白了为什么让他担任项目控制员。因为现有的时间计划表是硬拼凑在一起的,只有粗略估计,非常随意。

范霍特准备做出改变。他拜访了开发PAS 2500的5个子项目负责人,详细询问他们的情况,并在编制时间计划表时进行考量。这个计划被安排在周末并在VAX小型计算机上运行。周一早上,范霍特打印出结果,然后他将这些页面用胶带粘在一起放在地面上,长达20英尺。范霍特边走边看,确定了一个锚点——神圣的最后期限。

如果你错过了芯片市场的船,起航前你就会淹死在水中。所以在范霍特的时间计划表中没有任何娱乐时间,一个小时也没有。ASML岌岌可危,处于生死存亡的关键时刻

。1985年,公司必须制造出一台带电机的光刻机。但到1986年年初,它还必须有一套新的镜头。摩尔定律不能容忍任何延迟。如果他们不能成功,公司就得关门了。

这是ASML获得的唯一机会:为下一代VLSI芯片提供步进光刻机。如果能够准时交付,这台如此有吸引力的设备将使得半导体制造商不能忽视它。飞利浦是PAS 2500的第一个排队者,想在耗钱的芯片竞赛中迎头赶上。但光刻机对其Megachip项目至关重要,所以这家荷兰电子公司也向其他光刻机公司下了订单。Natlab甚至自己在秘密地开发光刻机,以防外部供应商的光刻机无法通过验收。

斯密特非常坚持于1986年1月1日交货,那是他18个月前提出的最后期限。这将使ASML有足够的时间在4月将一台能正常工作的光刻机运送到飞利浦,然后过一个月再船运一台光刻机到美国的SEMICON West展会上。范霍特将硬性期限键入程序中后,得到的都是负数。如果5位子项目负责人分别给他的时间表无误,那么实际的交货期限会比最后期限晚几天或几周,甚至是几个月。

1985年11月初,范霍特和他的开发人员得出结论,进展顺利的话,他们能够在斯密特的最后期限的一个月后交付5台机器中的2台。因此,他在调度系统中输入2月1日作为最后的日期。

1985年11月和12月,范霍特看着PAS 2500的进度远远落在时间表后面。他规定了交货的硬性期限,但开发人员已经预感到了灾难。他们知道延长最后期限将是唯一的选择。

范霍特面临的时间危机将变成一个常用的词——负余量。每次要赶不上最后期限时,工程师们都不得不在更短的时间内做更多的工作,结果就是长期加班。午夜加班变成了常事,而不是异常情况。因此,加班总是与PAS 2500捆绑在一起。

几十年来,“负余量”将成为ASML压力、争论、疯狂的加班和倦怠的代名词,但严格保证最后期限也为同事们之间的友谊打下了基础,并为最终成功提供了无与伦比的范例。

在新年的第一周,斯密特敲了范霍特的门。理查德·乔治和尼科·赫尔曼斯都在度假,这位首席执行官需要向监事会汇报工作。于是他问范霍特PAS 2500能否如期完成?显然,1月1日的最后期限已经过了。范霍特说,他甚至不确定他们能否在3月1日完成。他说:“时间非常紧张,交货日期可能进一步推迟。”范霍特这段时间都在担心日程安排,但他不知道开发主管赫尔曼斯是否已经提前把信息传达给首席执行官。“我们能成功吗?”斯密特坚持问。范霍特犹豫地回答道:“这将是非常艰难的。”

斯密特勃然大怒,赫尔曼斯一直告诉他一切都很顺利,但范霍特给他的信息却是一个可怕的警钟。斯密特暴怒的故事很快传到了工厂车间,每个人都知道情况有多糟糕。

* * *

斯密特采取了强硬的态度,要求3月必须有一台可以工作的机器。

PAS 2500的项目负责人乔治认为,这绝对不可能。几个月前,他意识到他严重低估了测试阶段的用时,他知道他应该早点提出警告并要求增加人手。开发主管、乔治的上司赫尔曼斯也知道这一点,但他也没有提前告知斯密特。

会议期间,乔治的态度很强硬。这个英国人以不喜欢搪塞而闻名,他很有个人信誉。他尖叫着对斯密特说:“你疯了,这台机器要到5月才能准备好。如果你认为它能在3月完成,那么我们中的一个人应该准备进疯人院。”

斯密特现在有了大麻烦。赫尔曼斯没有告诉斯密特延误的事情犯了一个致命的错误。乔治公开表达了他对该项目可行性的质疑,这让斯密特感到烦恼。即使这个英国人完全正确,从心理上来说,这也会给团队带来负面影响。斯密特害怕乔治会打击到其他人的积极性。

对于首席执行官来说,最后期限是神圣的。他认为这必须成功,不允许以任何借口拖延。旁人都可以看出来,他需要把乔治从项目中除名。如果一个球员在半场休息时说球队会输,教练必须换掉他。如果你开始怀疑你不能取得胜利,那么你一定会输。

斯密特知道他也需要干预研发。他应该怎么处理赫尔曼斯?他在考虑让ASM的乔普·范凯塞尔和威廉·德利乌来接替。他的首席财务官杰拉德·韦尔登肖特建议他可以继续用赫尔曼斯,虽然两人相处得不好。

斯密特会见了他的顾问兼发声板——乔斯·博默斯。Hay公司的这位顾问同时也与管理团队的其他成员定期会谈,因此他对乔治和赫尔曼斯都相当了解。

斯密特问他的知己:“我该怎么办?开除尼科吗?现在解雇他看起来还为时过早。”博默斯建议说:“很明显,为什么韦尔登肖特想要你再考虑一下。如果你把尼科踢出去,你将失去一个从一开始就参与研发的人。他很了解其他人,如果是我,我就不会这样做。去找些新办法吧。你现在没有人管理人力资源和行政事务,让尼科去负责,这样你就不必出去找人了。”

博默斯过去经常和高管交谈,但还没有遇到过像贾特·斯密特这样的人。当ASML的首席执行官听到一些有意义的事情时,他可以快速改变,每次博默斯都会大吃一惊。他从来没有遇到过类似的人,他感觉斯密特极其自大同时雄性激素非常高。

今天,博默斯所要做的就是提出一些明确的论点,在说服斯密特前,他是不会停下来的。斯密特则立即明白,让赫尔曼斯负责人力资源和一般的行政事务是最好的解决方案。

斯密特召集开发人员。他说,赫尔曼斯将被调任到一个新的职位,然后宣布,PAS 2400的项目经理埃弗特、波拉克将接任并发主管一职。每个人都向赫尔曼斯表示祝贺,他并没有意识到他被边缘化了,反而以为自己被提升为总经理。

会后,波拉克问范霍特的看法。“我看见你在摇头。”波拉克问他的年轻同事。范霍特不习惯看到员工被草率地推到一边,也不认为他的上司赫尔曼斯该遭此待遇。他说:“在不了解事情真相的情况下,斯密特喜欢很快免除负责人。”

* * *

斯密特把赫尔曼斯调到另一个岗位后,他就准备处理乔治。他不需要那些公开质疑公司目标的人,他知道这个英国人的脾气火爆,所以选择了一个公司外的地方来传达他的信息。他们来到斯密特第一次见到博默斯的中餐馆。“理查德,你为我们取得这一切成就付出了巨大努力。”他先客气地说。然后,他直奔主题:“但您无法完成PAS 2500项目。”斯密特要求乔治去美国,协助产品营销,而且立即动身,他的家人可以和他一起去。

把乔治调走,斯密特做到了一石二鸟。他在美国组建的销售和服务团队对光刻机不够熟悉,乔治对这台机器一清二楚,他对客户很友好,而且作为以英语为母语的人,他非常适合美国客户。

乔治却感觉很不好。他无法见证自己的研发计划的完成,他有种被流放的感觉。斯密特选择了一个即使场面失控也不会太难堪的地方。乔治很生气并且毫不掩饰地表现出来,他跳起来,气愤地冲出餐厅。

乔治无法想象,他将不能在那里见证PAS 2500的诞生。他能够施加影响的唯一方法是通过波拉克。他邀请他的新上司出去吃饭,两位工程师讨论了最新的中餐菜式。乔治说,他并不渴望参与开发第三款光刻机;在美国进行产品营销对他来说很有趣。但他很担心研发工作。他告诉波拉克:“你不能单独做研发这件事,你要确保马丁和弗里茨会接管我的工作”。他解释说,马丁·范登布林克是目前PAS 2500项目团队中最好的系统工程师和技术经理,他的得力助手范霍特作为项目控制者,在事物的组织方面最有洞察力。

令所有人惊讶的是,几天后波拉克让范霍特负责PAS 2500的研发工作。在主要由经验丰富的工程师组成的研发团队中,一位只有18个月经验的年轻同事将在决定公司命运的机器项目中发号施令。

波拉克要求范霍特与范登布林克合作:“与马丁会面,按照你认为合适的方式进行分工;你就是领导。”从那一刻起,范霍特是项目经理,而范登布林克是PAS 2500项目的系统工程主管。这是一项大胆的举措,波拉克本人对此并不完全放心。

当斯密特听说波拉克让两个小孩子负责ASML最重要的项目时,他的反应很激烈:“天啊,雇用一位真正的领导吧。”波拉克作为上司告诉他两个年轻的工程师,也许自己要被开了,他们很快就会有新的上司。

但在斯密特进行*后,波拉克做出的决定最终奇迹般地达到了目标。在这个时候,范霍特和范登布林克有18个月的关于复杂系统的工作经验,他们工作的时间越长,对自己做的东西越兴奋。他们是不可阻挡的。

3年来,斯密特及其继任者面试了多位候选人,想重新选择两位年轻的工程师来接管该项目。有很多来自知名技术公司的项目经理申请他们的职位,其中包括Fokker100的项目经理。但想不到的是,没有一位新聘请的技术经理能够超越他们两人。他们也曾转到ASML的其他职位,其中一次是去接替一位中途离职的前飞利浦经理。3年后,范霍特和范登布林克已经证明了自己,他们完全能胜任他们的岗位。

宝贵的时间正在流失

1985年年底,当ASML开始开发第一款带有g线镜头的PAS 2500时,与蔡司的i线光学技术谈判已全面展开。这家德国公司在这几年里都在为光刻机市场领导者GCA供货,但GCA现在却陷入了困境。

因此,贾特·斯密特希望蔡司能够欢迎其他新客户。斯密特去了几次奥伯科亨,但每次访问结果都是一样的:蔡司不想要排他性的合作关系,它要保持自己的自由选择权。

蔡司拥有这种骄傲的资本:ASET、日立和Perkin-Elmer的Censor公司都在苦苦寻求与这家光学元件供应商合作。GCA也还没有完全败落,该公司正疯狂地试图用改进后的光刻机夺回自己的领地。GCA的特罗佩尔部门现在在生产内部镜头,但特罗佩尔的业务规模很小。对于大量需求,这家美国光刻机制造商仍然依赖于蔡司。所以目前ASML只是众多“追求者”之一。这家荷兰公司和这家德国公司离建立他们独有的“两家公司,一个业务”的关系,还有很长的路要走。

经过几次尴尬的会面后,斯密特于1986年年初再次访问蔡司,并与其执行董事会会谈。他遇到了一群顽固的家伙,德国人不想达成任何特别协议。从蔡司的角度来看,这并不奇怪。该公司正处于一个关键但不确定的时期:其主要客户GCA的亏损不断扩大,但这家光刻机公司有可能在获得美国政府的救助后复苏。ASML也还没有证明自己的实力,蔡司对这家荷兰公司充满了疑虑。德国人不想把自己困在一个弱小的伙伴的身旁。

这次会议是斯密特态度的一个转折点。ASML的首席执行官看够了蔡司的不情不愿。在接下来的几周里,他与管理团队讨论了他戏剧性的结论:ASML需要接触其他光学专业公司。

斯密特勇往直前的劲头是无法克制的,这是近乎盲目的野心。与客户的交谈是他的指南针。他关于光源和掩模尺寸的判断似乎很简单,但从结果来看是对的。因此,ASML的产品规划慢慢开始形成。

在斯密特访问蔡司后的几个月里,ASML制定了所有的备用方案。除了蔡司,斯密特要求他们联系奥林巴斯和威得赫尔布格公司。

他的决定显而易见:如果蔡司不能作为他们的独家供应商,那么ASML将从其他光学元件供应商那里购买产品。这很有逻辑而且十分简单。但这一选择具有深远影响,因为它涉及复杂的技术元件,且只能通过密切协作来开发该元件。

ASML现在必须投入时间和金钱来找到多家供应商。这不仅意味着涉及多个路径、不同供应商的产品以及复杂的集成过程;还意味着多种光学元件的供应商将同时应用相同的技术,并且他们都希望获得足够的利润来维持生存;更意味着有效但更昂贵的镜头。

在目前ASML的状态下,这个举动是疯狂而大胆的。1986年,这家合资企业没有一个主要客户,而且每个月都会花费数百万美元。

* * *

虽然ASML正在与镜头问题搏斗,但在1986年,该公司开始逐渐意识到PAS 2500不能满足美国芯片制造商的需求。开发时遇到的种种挫折意味着该机器还没有准备好。与此同时,美国市场正在迅速变化。美国的半导体制造商在内存芯片市场的争夺中输给了日本,美国正逐渐向一个可以有所作为的领域转移——专用集成电路(ASIC)。这种芯片对光刻机提出了完全不同的要求。虽然日本晶圆厂的步进光刻机整天忙于冲压相同的内存芯片,但美国晶圆厂却需要能够不断改变设置以曝光不同芯片的光刻机。

ASML别无选择,美国市场是重中之重,因此该公司很快就提出了投资这种芯片设备的研发的想法,研发一种几乎完全自动化的新型光刻机。

PAS 3000是PAS 2500的后继者,它是ASML第一个商业计划的一部分,但现在该机器将针对ASIC市场进行专门的调整。ASML的研发部门在PAS 2500和PAS 3000的详细路线图的文件中写道:“在芯片厂的物流支持方面,需求是不同的。为此,PAS 3000将高度自动化,从而实现与工厂控制系统的集成。”

制造新机器的目标雄心勃勃。他们已经知道这台光刻机必须能制造细节为0.7微米的芯片,但ASML也希望它能够用于旧芯片工艺,包括g线和h线镜头。考虑到这些要求,公司要求蔡司、奥林巴斯和威得赫尔布格开发合适的镜头。

总之,ASML最初为每个镜头类型选择了两家供应商,以便比较不同供应商的产品性能。奥林巴斯很快就碰到了问题:在与这家荷兰公司的第一次会谈中,语言障碍是巨大的,在工程会议上,所有沟通都通过口译员进行。于是,ASML开始和威得赫尔布格正式合作,两家公司共同投资研发10套原型机镜头。

1986年3月,蔡司开始根据飞利浦和西门子的要求,为0.7微米芯片制造设备设计具有战略重要性的i线镜头。ASML为其在最新型号的光刻机PAS 2500/40中使用的镜头命名为欧罗巴,它旨在成为驱动飞利浦和西门子投入巨额补贴的Megachip项目的光学引擎,以使其赶上日本。

1987年,Megachip项目将需要第一台带有欧罗巴镜头的光刻机。为了在1988年年初大规模生产,ASML计划生产9套欧罗巴镜头。那些年,ASML的研发部门就像一个压力锅,威得赫尔布格的项目负责人忍受不了了,将压力传给了赫尔曼·范希克。但Natlab的这位前辈很快便逃离了疯狂的ASML,跳槽到飞利浦的CFT继续他的职业生涯。

与瑞士光学公司威得赫尔布格的合作项目又交给了范登布林克:“马丁,你需要接手这个项目。”这个坏脾气的工程师讨厌这个决定,“威得赫尔布格拿不出任何可用的东西。”他抱怨道。这位年轻的物理学家只有两年的从业经验,他并不想去管理供应商。“不过,你必须这样做,”范希克回答,“这是高层做出的决定。”

这实在是无奈之举。首席执行官斯密特和开发主管埃弗特·波拉克仍然认为范登布林克和弗里茨·范霍特需要承担更多责任,但他们别无选择。这两位年轻的工程师很积极,但管理供应商并不是一项可以吸引他们的任务。他们就这件事进行了长时间的讨论。范霍特说:“每个人都认为这事永远搞不定。”范登布林克说:“只要斯密特做出决定,就没有讨论的余地。”

1986年9月,范霍特和范登布林克总结了最新的情况。在题为《ASML的镜头开发》的报告中,他们向其上司描述了波拉克的所有执行中的项目。瑞士的威得赫尔布格作为制图和太空航天光学系统的供应商而享有盛誉。从理论上讲,这家公司似乎是一个很好的选择。

范登布林克认为这个主意很疯狂,但有外交风范的范霍特在给波拉克的报告里礼貌地说明了管理团队的看法。“投影镜头可能被视为最要命的因素,”他写道,“所以建议寻找多家供应商和多种镜头类型,以防ASML面临严重的投影镜头问题。”

* * *

范登布林克决定去瑞士审查威得赫尔布格项目的进展,并介绍自己是新的项目负责人。他请约瑟夫·布拉特作为光学专家与他同行。在这个时候,这位Natlab的研究人员在光学领域已经享有盛誉。在20世纪70年代,他曾为Natlab的光学领域的核心人物吉斯·布休斯工作。

范登布林克和布拉特想亲眼看看生产过程。当他们在早上8点半到访时,受到了威得赫尔布格的首席执行官赫尔·施瓦茨穆勒(Herr Doktor Schwarzmüller)的接见,周围则是一群销售人员和律师。显然,施瓦茨穆勒是想给他们一个下马威。

范登布林克认为和威得赫尔布格合作的整个项目就是一个错误,但他知道,他的上司斯密特希望他这样做,他能感受到肩膀上责任的重大。1987年年初,与威得赫尔布格的这个合作项目是极其昂贵的,他很清楚ASML没有多余的钱。施瓦茨穆勒强迫他签字的方式引起了他的不满,布拉特也持强烈的保留意见。范登布林克站起来,毫不客气地说:“我从来没有签过合同,我们的合作结束了。”然后准备离开。

这一切都发生在一刹那,但已经有足够的时间让范登布林克享受施瓦茨穆勒脸上的惊诧。然后他转过身来说:“等一下,在我走之前,我想确保公司和我意见一致,给我5分钟。”几分钟后,他和斯密特通了电话。

斯密特说,他不想结束与威得赫尔布格之间的关系。“好吧,”范登布林克回答道,“但合同中有一个问题。焦深的定义不明确。如果焦平面有丝毫扭曲,我们将失去景深。这是威得赫尔布格的问题,它没有具体说明。”范登布林克和布拉特知道这是威得赫尔布格镜头设计的一个弱点。范登布林克向斯密特提出如下建议:“如果合同中焦深的定义是正确的,我们就有保障了。我建议回去更改一下合同。如果他们不接受,我就走人。”斯密特同意了。

范登布林克回到会议室。他写下了一个数学公式,对施瓦茨穆勒说:“把这个公式加到合同里,我就签合同。”威得赫尔布格的首席执行官同意了,并邀请他的客人在附近的城堡中享用长时间的午餐来庆祝合同成功签署。

注:本文节选自《光刻巨人:ASML崛起之路》

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