最近没怎么更新,一直在处理各种案子,今天说一个现在做的,比较棘手的。
我们CP测试的wafer,大体分为两种:一是有植球的,也就是bump以后的。这种产品测起来简直不要太爽,最近也有遇到,但是量比较少,最多一个产品才8张wafer。二是pad,也就是刚从fab厂制作出来,测试以后植球的。这种产品就比较头疼,最近也是因为这种产品,搞到头大,现在基本测起来了,才有功夫来头条更新。
最近在搞得这个案子,测试流程比较复杂。首先,在高温下测试,称之为CP1。然后,将wafer放入烤箱,高温烘烤一段时间,称之为bake。bake完成后,进行常温下测试,称之为CP2。最后,拿去植球(bump),之后进行常温测试,称之为CP3。最后一道测试CP3,以后合并CP1-CP3的map,就可以直接剪片了,所以也称CP3为FT。
仅仅测试流程就这么复杂,实际测起来,比这更繁琐。
在CP1和CP2阶段,由于客户规定和我们自己的管控,OD被卡的很严格。
这里要简单讲一下什么是OD。OD是overdrive的缩写,指的是wafer到探针的距离,通常的计算单位是um。这部分不细讲,以后搞一个专门的讲解。
为什么要把控OD?我简单画一个示意图。当然,这只适用于pad类产品。
图一为OD过大,导致wafer上的芯片被扎穿,测试的结果,通常显示short,意为短路。
图二为OD过小,探针未与wafer接触,测试结果通常显示open,意为开路。
以上两者基本上为每个产品都要进行的测试项,简称OS。(open/short)
图一:OD过大
图二:OD过小
这里要说明的是,并不是探针在上下移动,而是承载wafer的chuck上下移动,让芯片去扎探针。
这个看起来简单吧,不就是让探针扎到中间深度位置嘛。这里,要思考两个问题:第一,怎么确认探针是扎在中间深度。第二,怎样在移动和不断测试中确保探针扎在中间位置。
关于第一个问题的解决办法,也是我想说的一个测试建议:无论你是甲方客户还是乙方测试厂,都请务必抓取OD1/OD2/OD3。如果是客户,要给测试厂提出这个要求,保留每批wafer的OD记录。如果是测试厂,请做好每批产品的OD记录。怎么确认探针是扎在中间深度?每个产品的封装类型不同,导致对OD的要求各不相同,但在CP这里,我们卡的是OD3-OD1的值。OD1指的是O/S的pin 中,有1根pin是pass的OD值。OD2指的是O/S所有pin都pass的OD值。OD3指的是所有测试项都pass的OD值。
关于第二个问题的解决办法,可以通过设置探针台(probe)来实现。改变chuck移动速度,这是在多工位、每个工位有很多pin的情况下,最适合的一个方案。可以有效避免因针的形变而带来的偏差。加大对针频率和设置对针位置,可以有效预防针位偏移。这俩设置,会加长测试时间,但是实际测试效果,挺不错。
说了那么多,来看看我这个案子。
客户卡的OD(OD3-OD1)比我们自己卡的都严格。但是客户的针卡供应商做的针卡又有问题,一是偏针,二是O/S。偏针就是每根pin扎的位置不一致,这是针卡在做的时候,mask制作有问题 ,导致测试时针迹偏移,OD越大,针迹越偏。O/S是总有一个工位测试会出现连续O/S,这个可能是针卡的工位间存在高低差,我们也不敢随意加OD。由于这两种问题,导致前期的量产过程中,总是测测停停,再加上有一些wafer本身就有问题,测起来就头大。后期对于这两个问题,针卡厂商也进产线解决过,但是有点效果,但是也还会存在。我们这边是怎么处理的呢?对于偏针,我们在probe机台上设置PMI,但是效果不太行,所以现在只能靠人力核查,每片wafer 测试之前,都要核验一遍针迹。对于O/S,我们认为是针卡本身和probe都存在高低差,所以,一旦出现O/S,我们就卸卡,清针、磨针,目的是把针尖稍微磨平一点。以上措施,只暂看效果尚可,绝非长久之计,目前还在思考如果解决。
没想到,仅仅一个小问题就写了这么多。今天就到这了,有时间接着写。各位晚安。
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